Occasion VERTEQ ST600-41L #293597566 à vendre en France
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L'équipement de photorésistance VERTEQ ST600-41L est un système avancé conçu pour traiter les matériaux de masque de photorésist et offrir des résultats fiables. Cette unité est composée de lithographie avancée, de métrologie et d'outils de piste, et dispose d'un photoaligneur sous vide conçu pour réduire les défauts et améliorer les rendements. ST600-41L Photoresist Machine est un outil avancé avec les caractéristiques suivantes : Traitement de photorésist multicouche : L'actif VERTEQ ST600-41L est capable de traiter jusqu'à quatre couches de photorésist simultanément. Cela signifie que des structures et des caractéristiques complexes peuvent être facilement produites. En outre, le modèle peut traiter à la fois les films épais et les films minces, ce qui réduit le besoin de procédés supplémentaires pour les films minces. Résolution Sub-Micron : L'équipement dispose d'une résolution leader de l'industrie de 0,2 micron, assurant le plus haut niveau de précision lors du traitement de la résine photosensible. Les structures multicouches de largeur et de hauteur de 0,2 micron peuvent facilement être traitées avec ce système. Unité de métrologie de la vraie focalisation automatisée : ST600-41L comprend une machine de métrologie de la vraie focalisation automatisée, qui permet aux utilisateurs de mesurer avec précision la focalisation optique des motifs sur une vaste zone. Ceci améliore les largeurs de lignes et l'uniformité. Contrôle de l'étage dans le plan : Le contrôle de l'étage dans le plan très précis assure une précision constante de répétition du motif (uniformité CD) sur une large zone. Cela réduit le besoin de retouche manuelle. Outil intégré d'exposition à l'ozone et aux UV : L'actif intégré d'exposition à l'ozone et aux UV assure une cohérence optimale lors de l'exposition des couches de résines photosensibles. Axe GY haute précision : L'axe GY haute précision offre un positionnement précis, ce qui facilite le traitement des caractéristiques au niveau des plaquettes. Cet axe peut être exactement aligné en utilisant les exigences de l'auto-cale. Chargeur robot : Le chargeur robot permet aux utilisateurs de charger et décharger rapidement et avec précision les plaquettes dans et hors du modèle. Cela réduit les erreurs de transfert et minimise les temps de traitement globaux. Logiciel de suivi des processus : Le logiciel de suivi des processus permet aux utilisateurs de suivre de façon constante la progression du traitement d'une plaquette. Cela garantit que le produit final répondra aux exigences du client. VERTEQ ST600-41L Photoresist Equipment est un système avancé avec des caractéristiques puissantes qui permettent la production fiable de masques de photorésist avec des rendements améliorés. Ses capacités de traitement multicouche, sa résolution de sous-microns et son unité de métrologie de mise au point automatisée permettent de produire des modèles et des caractéristiques complexes avec une grande précision. De plus, sa machine intégrée d'exposition à l'ozone et aux UV, son axe GY de haute précision, son chargeur robot et son logiciel de suivi des processus aident à réduire les temps de processus et les erreurs.
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