Occasion VPT 3000-C #293753952 à vendre en France
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VPT 3000-C est un équipement de haute performance conçu pour les procédés avancés de photolithographie dans la fabrication de semi-conducteurs et les applications de microfabrication. Ce système offre une solution complète pour créer des motifs précis sur les substrats avec une haute résolution et une excellente uniformité. Il intègre une technologie de pointe pour permettre des processus de photolithographie précis et reproductibles, ce qui en fait un outil essentiel pour les laboratoires de recherche, les universités et les fabricants de semi-conducteurs. Au cœur d'unité 3000-C est un module d'exposition sophistiqué qui utilise un état de la source de lumière d'art, telle qu'une haute intensité la lampe d'UV ou le laser, pour sélectivement exposer se photoopposent à la matière enduite sur un substrate. Le module d'exposition est équipé d'une optique avancée et de systèmes de contrôle de mouvement de précision pour assurer un alignement et une focalisation précis, nécessaires pour atteindre la résolution submicronique dans le transfert de motifs. La machine VPT 3000-C supporte une large gamme de matériaux photorésistants, y compris des photorésists à tonalité positive et négative optimisés pour des exigences de processus spécifiques. Les photorésistes positifs sont sensibles à la lumière et subissent un changement chimique lors de l'exposition, devenant solubles ou insolubles dans la solution du révélateur. Les photorésistes négatifs se comportent de façon opposée, les régions exposées devenant plus résistantes à la solution du développeur. Cette flexibilité permet aux utilisateurs de choisir la résine photosensible la plus adaptée à leurs besoins spécifiques. Une caractéristique essentielle de l'outil 3000-C est le contrôle programmable de l'exposition, qui permet aux utilisateurs de définir avec précision les paramètres d'exposition, tels que la dose d'exposition, l'intensité et la configuration. Ce niveau de contrôle est essentiel pour parvenir à un transfert uniforme et reproductible des motifs sur plusieurs substrats, ce qui est essentiel pour les processus de fabrication à haut volume. L'actif comprend également un module de revêtement spin dédié pour appliquer une couche uniforme de photorésist sur la surface du substrat. Le module d'enrobage est équipé d'un contrôle programmable de la vitesse de rotation et de l'accélération pour obtenir l'épaisseur et la distribution souhaitées du film. Un revêtement photorésist approprié est essentiel pour obtenir une qualité et une adhérence constantes lors des étapes de traitement ultérieures. Pour améliorer la convivialité et la polyvalence du modèle VPT 3000-C, il est équipé d'un logiciel convivial pour le contrôle de l'équipement, la gestion des données et l'optimisation des processus. L'interface logicielle permet aux utilisateurs de définir des recettes d'exposition, de surveiller les paramètres de processus en temps réel et d'analyser la qualité des modèles grâce à des outils d'inspection post-exposition. En outre, 3000-C système est conçu avec des caractéristiques de sécurité avancées pour protéger les opérateurs et les composants sensibles pendant le fonctionnement. Cela comprend des contacts intégrés, des capteurs de sécurité et des mécanismes d'arrêt d'urgence pour prévenir l'exposition accidentelle et assurer un environnement de travail sûr. En résumé, l'unité de photorésistance VPT 3000-C représente une solution de pointe pour les procédés avancés de photolithographie dans la fabrication de semi-conducteurs et la microfabrication. Avec son contrôle d'exposition de précision, sa compatibilité photorésist polyvalente et son interface conviviale, cette machine est idéale pour obtenir des motifs haute résolution avec une excellente uniformité et répétabilité dans un cadre de recherche ou de production.
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