Occasion VPT Argus 58 #9199501 à vendre en France
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ID: 9199501
Optical coater, 58"
Chamber:
Width: 58"
Depth: 28"
Water-cooled chamber
Stainless steel
(2) Opening doors
Integrated stand
Vacuum pumping system:
Pumping system for chamber includes:
EDWARDS GXS 160/1750 Dry pump and blower package
(2) PFEIFFER ALCATEL ATP 2804 Maglev turbo-pumps
CTI CT10 Cryo pump
ADIXEN ALCATEL ADS-501 Dry pump \ blower package
Substrate fixture system:
(6) Diameter planets, 16"
Process system:
(3) MAGNETRON DC Sputters, 8"
(3) ADVANCED ENERGY 10 kW power supplies
(2) Sputtering cathodes co-sputtering function
(3) SIERRA APPLIED SCIENCE INC Sputtering cathode, target 8" diameter (203.2 mm)
CCR Cobra DN 400 RF-Plasma Source, 16"
ADVANCED ENERGY 13.56 MHz RF Power supply 5.5 kW
(4) VPT 2 kW Quartz lamp heaters
Type J thermo couple probe
INFICON XTC-3 With (6) crystal heads
Ion current monitoring: Faraday cup
Power systems includes:
Integrated power distribution enclosure
PC \ PLC Based control system:
Factory talk Human Machine Interface (HMI)
ALLEN BRADLEY Logix PLC controller
Utility requirements:
Power supply: 208 VAC, 65 kVA, 50/60 Hz.
VPT Argus 58 est un équipement de photorésistance conçu pour des applications de fabrication de plaquettes et de microlithographie. Le système est capable de produire des images haute définition avec une résolution jusqu'à cinq fois supérieure à celle des outils classiques, tout en offrant une répétabilité élevée et un temps d'exposition ultraviolet. L'unité est capable de fonctionner à basse pression de résistance et de faibles niveaux d'exposition aux UV, permettant de modeler avec précision les caractéristiques micro- et nanométriques. La machine utilise un laser hélium-néon pour induire des molécules photosensibles à déposer sur la plaquette dans des motifs contrôlés. On obtient ainsi des profils très précis et cohérents, ce qui est essentiel pour les applications de microlithographie. L'outil est bien adapté à une variété de tâches telles que la photolithographie, le laser et le revêtement de résistance. L'actif comprend un pas/scanner de 12 pouces pour l'alignement des plaquettes et le dépôt de résistance précis. Il est également équipé d'un modèle de tailles de faisceau laser contrôlé par ordinateur pour un contrôle précis du faisceau, et d'un équipement logiciel de balayage du faisceau pour balayer la résistance à travers la surface de la plaquette. Ceci permet une résolution au niveau submicronique sur les dépôts de résistance. Argus 58 comprend également des caractéristiques facultatives telles qu'un quadrant à super résolution hélium-néon, qui permet d'épisser les motifs avec un écart inférieur à 10µm ; un système automatique de centrage optique qui aligne précisément la plaquette ; une fonction de synchronisation transversale pour un meilleur enregistrement des couches photosensibles ; et une unité Opticlock pour une modélisation précise. Dans l'ensemble, VPT Argus 58 est un outil fiable pour les processus de microlithographie haute définition. Ses caractéristiques permettent un balisage précis et précis, ce qui se traduit par des tranches plus productives et une productivité accrue. La machine est simple à utiliser et compatible avec un grand nombre de matériaux photorésistants. Argus 58 est un outil inestimable pour toute installation semi-conductrice et est un incontournable pour produire les dispositifs de circuits intégrés les plus avancés.
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