Occasion YUASA LPC-5211 #9392166 à vendre en France

Fabricant
YUASA
Modèle
LPC-5211
ID: 9392166
Taille de la plaquette: 5"
Track coater system, 5".
YUASA LPC-5211 est un équipement de photorésistance conçu pour la fabrication de circuits à motifs avancés. Ce système utilise une combinaison unique de processus de lithographie et de gravure pour produire des motifs précis et complexes avec des marges dimensionnelles minimales. LPC-5211 utilise une technique de lithographie utilisant un matériau photorésist photosensible avec un masque pour créer un motif sur un substrat. Le matériau photorésist spécifique utilisé peut varier en composition selon l'application, la plupart des photorésistes courants étant l'époxysuch en polyméthacrylate de méthyle (PMMA). Le matériau photorésist est exposé à la lumière du masque et toute zone conforme de photorésist restera pendant que les zones restantes du substrat seront exposées à un processus de gravure pour éliminer le matériau. L'unité comprend un stepper/scanner de 15 "qui offre une résolution de mesure allant jusqu'à 5µm et une résolution d'étape allant jusqu'à 2µm. Cette résolution est encore renforcée par un interféromètre laser bidimensionnel unique qui fournit un marquage et un alignement très précis pendant l'étape d'exposition. Le procédé de gravure YUASA LPC-5211 utilise une machine de gravure plasma à base d'oxygène qui comprend un générateur hyperfréquence de grande puissance pour fournir des taux de gravure élevés et des profondeurs contrôlées. L'outil offre une vitesse de gravure impressionnante allant jusqu'à 0,6 µm/minute et une profondeur de gravure allant jusqu'à 1 µm avec une puissance réglable allant de 10 à 40 watts. LPC-5211 est également équipé de nombreuses fonctions de sécurité telles que le contrôle du débit de gaz, la surveillance du vide et le contrôle de la température pour assurer la sécurité et la précision des processus d'exposition et de gravure des résines photosensibles. L'actif est également capable de diagnostic d'auto-faute et d'arrêt automatique si une faute est détectée pour éviter des dommages coûteux. Dans l'ensemble, YUASA LPC-5211 est un modèle photorésist fiable et sophistiqué conçu pour la production de circuits de haute qualité et complexes. Sa haute résolution, sa vitesse de gravure supérieure et ses caractéristiques de sécurité en font l'équipement idéal pour une variété d'applications photorésistantes.
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