Occasion ZEISS A20 #293770641 à vendre en France
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ID: 293770641
AR Coater system
POLYCOLD PFC 552 HC Cryo system
POLYCOLD Chiller
Electron and ion beam gun:
Mark II Plus Ion gun
Ferrotech Gun supply
Pumping system:
LEYBOLD Vacuum pump
Booster pump
Depositing meterial:
Sio2
Zro2
Ti3o5
ITO
Super hydrophobic
Operating system: Windows XP.
ZEISS A20 est un équipement de photorésistance de pointe fabriqué par ZEISS, une entreprise allemande de renom spécialisée dans les systèmes optiques et la technologie de précision. Ce système de pointe est conçu pour les procédés de lithographie haute résolution utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs, en particulier pour la fixation de matériaux photorésistants sur des substrats afin de créer des motifs et des structures complexes sur des dispositifs microélectroniques. Au cœur de l'unité A20 se trouvent ses composants optiques sophistiqués et de précision, qui lui permettent d'atteindre des niveaux de résolution submicroniques nécessaires à la fabrication de semi-conducteurs de pointe. La machine dispose d'une phase d'alignement de haute précision avec une précision de positionnement sous-nanométrique, permettant le placement précis des masques et des substrats pendant l'exposition. Ce niveau de précision est crucial pour atteindre des tolérances de recouvrement serrées et une fidélité de motif dans les dispositifs finaux. L'un des composants clés de l'outil ZEISS A20 est sa technologie avancée de sources lumineuses, qui utilise généralement des sources lumineuses à ultraviolets profonds (DUV) ou à ultraviolets extrêmes (EUV) pour exposer le matériau de la résine photosensible. Ces sources de lumière fournissent la longueur d'onde précise et l'intensité de lumière nécessaire pour exposer la résine photosensible avec une haute résolution et fidélité. L'actif comprend également des optiques avancées telles que des lentilles de projection et des éléments de mise en forme de faisceau pour focaliser et façonner la lumière pour une performance optimale de mise en valeur. Le modèle A20 est équipé d'un équipement de contrôle sophistiqué qui permet aux utilisateurs de définir et d'optimiser les paramètres d'exposition tels que la dose, la focalisation et l'alignement pour chaque couche du processus de lithographie. Le système peut également effectuer des corrections et des compensations de processus avancées pour tenir compte de facteurs tels que les aberrations de lentilles, la topographie du substrat et les distorsions du masque, assurant ainsi un tissage de haute qualité sur toute la surface de la plaquette. En plus de ses capacités d'imagerie, l'unité ZEISS A20 intègre des fonctions avancées de surveillance des processus pour assurer la qualité et la cohérence du processus de lithographie. Ces caractéristiques peuvent comprendre des outils de métrologie in situ pour mesurer les dimensions critiques en temps réel, ainsi que des algorithmes avancés de contrôle de la rétroaction pour ajuster les paramètres d'exposition à la volée en fonction des données mesurées. Cette capacité de surveillance et de contrôle en temps réel permet à la machine de détecter et de corriger les variations de processus avant qu'elles n'affectent les performances du dispositif. En outre, l'outil A20 est conçu avec la modularité et la flexibilité en tête, permettant aux utilisateurs d'adapter l'actif aux différentes exigences de processus et technologies émergentes. Le modèle peut prendre en charge des techniques d'exposition multiples telles que le masque binaire, le masque déphaseur et les schémas multidimensionnels, permettant aux utilisateurs de relever un large éventail de défis en lithographie dans la fabrication avancée de semi-conducteurs. Globalement, l'équipement photorésist ZEISS A20 représente une solution de pointe pour les applications de lithographie haute résolution dans l'industrie des semi-conducteurs. Grâce à son optique avancée, à ses capacités de contrôle précises et à ses fonctions de surveillance des processus, le système permet aux utilisateurs de satisfaire aux exigences strictes des dispositifs semi-conducteurs modernes tout en maintenant une productivité et un rendement élevés.
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