Occasion TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #9161951 à vendre en France
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ID: 9161951
Style Vintage: 2002
Prober
Loader type: Left
Type (Hot / Cold): Hot
VIP: No
147CON: Yes (No HDD)
MR-MC01: Yes
316: Yes
PST-OPT: Yes
PST-STD: Yes
SIO: Yes
GPIB: Yes
FDD: Yes (Damaged)
Signal tower: Yes
Monitor: Yes
Display driver: Yes
Stage X motor: Yes
Driver: Yes
Stage Y motor: Yes
Driver: Yes
Stage Z motor: Yes
Stage theta motor: Yes
Chuck top: Yes
PT Sensor: Yes
Chuck vacuum solenoid : Yes
Sensor: Yes
Chuck camera: Yes
Bridge camera: Yes
Polish pad: No
Head plate inter-lock sensor: Yes
Shutter: Yes
Indexer Z axis motor: Yes (Separated)
Indexer Z-axis belt: Yes (Separated)
Cassette unit: Yes
Sub-Chuck top: Yes
Motor: Yes
Up / Down cylinder: Yes
Solenoid: Yes
Pincette (Upper): Yes
Motor: Yes
Driver: Yes
Pincette (Lower): Yes
Motor: Yes
Driver: Yes
Loader vaccum solenoid: Yes
Sensor: Yes
Wafer sensor: Yes
OCR Unit: No
SACC Unit: Yes
Control board: Yes
Cover inter-lock sensor: Yes
Shutter: Yes
Probe-card interface: Yes
Sensor: Yes
Manual switch: Yes
Hot chuck controller: Yes
Manipulator: No
Main power supply: Yes
Main air / Vacuum fitting: Yes
Main regulator unit: Yes
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL Prober est un prober entièrement automatisé pour les essais avancés de métrologie des semi-conducteurs. Il est conçu pour les essais de production de plaquettes de nouvelle génération et peut manipuler des plaquettes de petites à grandes tailles jusqu'à 12 pouces de diamètre. Il est équipé de cinq interféromètres qui effectuent des mesures de forme de plaquettes avec une précision, une répétabilité et une fiabilité exceptionnelles. Le prober peut mesurer une variété de paramètres, y compris la taille de la matrice, la topographie de surface, la planéité de surface et la réflectivité de surface - sans jamais avoir à effectuer des ajustements manuels. Cela permet des mesures plus rapides et plus précises, permettant une production plus efficace. Le Prober dispose d'un équipement de diagnostic embarqué qui assure la précision du système avec des procédures bien définies qui sont constamment vérifiées et entretenues. Le Prober est également équipé d'une unité de tri robotique à grande vitesse qui trie rapidement les plaquettes et autres matériaux en différents groupes. Cela permet de réduire les temps d'arrêt en éliminant la nécessité de trier manuellement les matériaux. Le Prober dispose également d'une unité de protection ESD intégrée qui aide à protéger et prolonger la durée de vie de la machine, tout en assurant un haut niveau de sécurité pour les utilisateurs. Le contrôleur de processus d'outillage intégré et le logiciel Prober offrent une précision sans précédent dans le contrôle et la mesure du traitement thermique, la recherche de plaquettes et la mesure et l'analyse du site. Le contrôleur de processus d'outillage aide à réduire le temps de mise en place et élimine la nécessité de processus d'étalonnage complexes et coûteux. Les vastes périphériques et options du Prober offrent une polyvalence accrue pour les essais de métrologie des semi-conducteurs. Il s'agit notamment d'un robot polyvalent Wafer Handler, un outil de gaufrage pour le marquage sur les plaquettes, un marqueur laser pour le marquage des sites sur la plaquette et bien plus encore. Le Prober a été fabriqué selon les normes de qualité les plus élevées et est entièrement conforme aux spécifications SEMI, ISO et JEDEC. Sa conception modulaire et ses accessoires permettent de créer des solutions de test personnalisées pour répondre aux besoins exacts des clients. Avec sa conception flexible, il peut accueillir différents processus de wafer, de test et de conception avec facilité. Sa grande précision et ses performances fiables en font un outil inestimable sur le marché des essais de métrologie à semi-conducteurs.
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