Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #177711 à vendre en France
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Vendu
ID: 177711
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1995
Sputtering system, 6"
1. STD-AL-Si-Cu (Clamp)
2. Wide-Ti (A101)
3. Wide-Ti (A101)
4. STD-AL-Si-Cu (Clamp)
5. -
A: PASS
B: COOL
C: PC2
D: PC2
E: ORIENTER-DEGAS
F: ORIENTER-DEGAS
BUFFER: HP
XFER: HP
LL: NARROW
MAGNET: DURA & G12
Pumps: EBARA A30W, A10S, A10S
Missing:
FDD
OPT PCB
(4) DIO PCB
Currently installed and shut down
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor est un réacteur chimique de pointe et un système de transfert de masse conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de pointe. Le réacteur comprend des caractéristiques uniques qui permettent une productivité élevée, un débit élevé et un fonctionnement peu coûteux dans le développement, la fabrication et l'essai de divers dispositifs semi-conducteurs. Le réacteur AMAT ENDURA est composé d'une enceinte et de trois composants principaux : une chambre de réaction, une enceinte de chambre et une chambre de prétraitement. La chambre de réaction offre un environnement contrôlé pour les processus chimiques qui permettent une production à grande vitesse avec un temps d'arrêt minimal. Il est conçu pour maintenir une température et une pression contrôlées et uniformes, ainsi que pour contrôler le flux de gaz et de liquide. L'enceinte abrite la chambre de réaction et la chambre de prétraitement, et est pressurisée avec une combinaison d'azote et d'oxygène pour assurer l'environnement optimal pour le procédé conçu. Outre sa chambre de réaction, le réacteur ENDURA MATÉRIAUX APPLIQUÉS comprend également une chambre de prétraitement, qui permet le nettoyage et/ou le traitement des substrats avant leur entrée dans la chambre de réaction. La chambre est composée d'une série de composants de chambre qui comprennent un anneau d'eau pour le nettoyage et le refroidissement de l'eau ; un épurateur pour le nettoyage chimique ; un chauffe-vapeur pour le nettoyage des vapeurs ; un four à haute température pour le nettoyage thermique ; et un générateur d'ozone pour le nettoyage de l'ozone. En outre, ENDURA Reactor dispose d'un contrôleur enviromax, qui fournit un système d'automatisation et de contrôle de processus rentable, puissant et fiable. Ce contrôleur basé sur microprocesseur offre un contrôle précis du fonctionnement du réacteur, permettant une large gamme opérationnelle, un fonctionnement efficace en deux étapes, un débit élevé et un développement rapide de recettes. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor a été largement adopté dans l'industrie des semi-conducteurs en raison de ses performances inégalées et de son fonctionnement fiable. Les caractéristiques avancées du réacteur assurent un traitement rapide et fiable des substrats, tandis que le système d'automatisation facile à utiliser assure un fonctionnement efficace et un développement rapide des recettes. En outre, le réacteur est conçu pour une utilisation et une maintenance à faible coût, ce qui en fait un choix attrayant pour des applications sur des marchés sensibles aux coûts.
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