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PVD System, 6" Load lock: Narrow body (Automated) Buffer robot: HP XFER Robot: HP Chamber A: PC Cham
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PVD System Load lock: Narrow body (Automated) Buffer robot: HP XFER Robot: VHP Chamber-A: Pass-tru
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System, 8" Wide body LLC V452 HEWLETT PACKARD Robot: Buffer HP and transfer VHP (2) TTN Chambers (2)
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PVD Preclean chamber, 12" Includes: CTI Cryogenics P300 On-Board cryopump P/N: 8116250G001 & 811319
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Load Port Interface, 8" From 8" Endura CVD System (1) Prealigner: Kensington P/N: 25-3600-0300-03
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System Copper (2) Preclean (2) Orienters (2) Ta.
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System, 8" (4) Chambers (2) Chambers: Ti / TiN (2) Chambers: Hot-AL (2) Chambers: Orientor-degas M
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System, 12", parts system Missing parts: (2) Dry pumps for load module Dry pump for transfer module
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PVD System, 8" Product wafer Wafer shape: SNNF Controller & system AC Single Bd computer in control
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System, 8" Includes: (4) Chambers Wide body: Narrow body VHP Robot: HP Robot.
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Support LG OG precleans Part number: 0021-21260.
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