Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #200767 à vendre en France
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Vendu
ID: 200767
PVD system, 8"
Mainframe
System controller
(2) Gen racks
Main AC rack
(3) CTI comp
9600 Nesleb heat exchanger
Transformer
MDX6L Comdel 1001s VHF8000.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un équipement de traitement semi-conducteur conçu pour l'implantation ionique et le dépôt de couches minces. Il est utilisé pour le traitement de composants avancés de microcircuiterie, tels que des oxydes de grille minces, des électrodes de grille et des couches de rentrée noyées dans des transistors. Le système AMAT ENDURA se compose de deux composantes principales : l'unité d'implantation et de dépôt (IDC) et l'unité de contrôle/surveillance des processus (PCM). La grappe d'implantation et de dépôt (CID) est le cœur de l'unité, chargée de contrôler la séquence et le calendrier des fonctions du processus. Il comprend des alimentations qui fournissent l'énergie nécessaire à l'entraînement des processus à base de plasma et deux banques de sources magnétron haute tension. Ces sources génèrent un plasma à haute température, qui est ensuite utilisé pour générer des ions énergétiques utilisables pour l'implantation ou pour pulvériser un film mince sur le substrat. L'alimentation haute tension permet également de contrôler la profondeur des implantations et des dépôts en couches minces. L'unité de contrôle/surveillance des processus (PCM) est le cerveau de la machine. C'est un outil informatique qui supervise l'ensemble du processus, depuis le démarrage, la surveillance et le contrôle précis des paramètres de l'opération. Il reçoit l'entrée d'une variété de capteurs, y compris des pompes à vide et des jauges ioniques qui surveillent les pressions, les températures et les niveaux de contamination pour chaque chambre. Le PCM surveille également les sources magnétron haute tension, et assure le bon fonctionnement en surveillant l'énergie émise et en fixant les limites en conséquence. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'actif ENDURA est conçu pour être fiable, facile à utiliser et abordable, ce qui en fait un choix attrayant pour de nombreuses entreprises de semi-conducteurs. Il a une conception robuste qui comprend une variété de chambres interchangeables pour répondre à toutes les exigences de processus spécifiques, et une plate-forme logicielle hautement flexible. Cela donne un protocole de traitement plus rapide et plus efficace que les systèmes traditionnels, avec moins d'erreurs et des résultats plus fiables. Le modèle peut traiter des substrats petits et grands, et offre une traçabilité et un contrôle de processus complets, ce qui en fait un choix fiable pour les applications de traitement modernes.
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