Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9093781 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA equipment is a cluster-tool platform specifically designed to provide a cost-efficient and highly fiable semiconductor production solution. En particulier, la plateforme AMAT ENDURA est utilisée pour produire des technologies FinFET en mémoire, logique et 3D avancées avec la plus grande qualité et performance. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le système ENDURA permet aux clients d'obtenir un procédé de semi-conducteur perfectionné qui combine la technologie de semi-conducteur la plus avancée avec la plus haute fiabilité et performance unitaire. ENDURA est composé d'une gamme complète de modules d'équipement qui sont conçus pour desservir différents segments du flux de processus. Cela comprend le dépôt, la gravure et le nettoyage, le dépôt dopant et l'activation, et par gravure. En outre, il dispose de systèmes de contrôle thermique intelligents et d'un cluster frontal à haut débit qui sont conçus pour maximiser l'efficacité et minimiser les temps d'arrêt. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA machine utilise les outils CVD solides de la plus haute qualité et les outils de procédé thermique rapide standard pour le dépôt. Cela garantit la plus haute qualité pour chaque couche de processus. Il fournit également le plus haut degré d'uniformité, de rigidité et d'adhérence entre les couches de procédé pour produire des substrats de qualité de production avec des architectures de transistors très minces. L'outil AMAT ENDURA est également équipé de modules de gravure et de nettoyage haut de gamme comprenant une gravure plasma haute performance et une chambre LPCVD pour le nettoyage post-dépôt. En effet, le procédé de gravure et de nettoyage permet aux clients de réaliser une gravure au silicium avec une haute sélectivité et un contrôle de profondeur sur les couches épitaxiales et autres matériaux à couches minces utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA est également équipé d'un actif de dépôt et d'activation dopant haut de gamme pour l'incorporation d'impuretés dans la structure du dispositif. Ce modèle utilise une chimie dopante exclusive et une activation thermique pour obtenir une homogénéité de dopage quasi parfaite pour des propriétés électriques parfaites et des performances de l'appareil améliorées. Enfin, ENDURA dispose d'un équipement de gravure sèche innovant pour la lithographie de contact de précision. Ceci fournit des motifs de haute résolution avec le pas sous-lithographique et le rapport d'aspect critique, qui est essentiel dans la production de dispositifs avancés.