Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9096488 à vendre en France
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Vendu
ID: 9096488
Taille de la plaquette: 8"
Preclean II Chamber, 8"
Generators
Match
Turbo
Turbo controller
Cables.
AMAT/APPLIED MATERIALS Le réacteur ENDURA est un équipement de dépôt très avancé conçu pour un traitement à très haute productivité. Il est conçu avec la plus haute efficacité de production en tête et fournit des performances de plate-forme extrêmes dans une variété de processus. Le cœur du réacteur AMAT ENDURA est APPLIQUÉ MATÉRIAUX ENDURA Étage amélioré (EES) avec un système automatisé de production de semi-conducteurs (ASPS). Cette unité offre un contrôle et une assurance accrus de l'uniformité des matériaux, ainsi qu'une précision et une répétabilité améliorées des processus. L'EES utilise une conception d'arbre propriétaire, qui permet l'intégration des outils avec les suscepteurs associés et les bras robotisés. De plus, l'EES offre des cartes de mouvements de chambre uniformes, précises et répétables, un chargement et un déchargement plus efficaces des substrats et un temps d'entretien réduit. Le procédé de dépôt à haut débit du réacteur ENDURA utilise une machine à débit de source liquide et est capable d'intégrer de manière transparente soit un outil Ion Etch réactif (RIE), soit un actif d'implantation ionique dans son architecture. Cela permet un débit constant et répétable des étapes de processus, ainsi qu'une intégration complète du contrôle automatisé des processus. AMAT/APPLIED MATERIALS Le réacteur ENDURA dispose également d'un véritable modèle de contrôle et de surveillance des processus en boucle fermée, qui est intégré pour un développement et une exécution optimaux des processus. Le réacteur AMAT ENDURA offre plusieurs configurations de chambres de procédés, avec différents matériaux cibles. Cela permet un traitement personnalisé et une flexibilité complète pour l'utilisateur. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur ENDURA a également deux modes de fonctionnement différents afin d'assurer un débit optimisé et une uniformité, en fonction de l'étape du procédé ou de l'application spécifique. Sur le plan de la sécurité, le réacteur ENDURA dispose d'un nouvel équipement d'interconnexion de sécurité avec protection matérielle et logicielle. Cela permet de surveiller toute étape du processus dans le système, et a été conçu pour fournir aux utilisateurs les plus hauts niveaux de mesures de sécurité. Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA dispose également d'une base de données entièrement automatisée sur les matériaux, qui permet aux utilisateurs de toujours conserver les informations les plus à jour sur les processus des matériaux, les temps de traitement actuels, ainsi que le contrôle de la température du substrat. Le réacteur AMAT ENDURA est également équipé d'une unité de suivi des lots et d'une machine d'enregistrement d'audit interne. Cela permet aux utilisateurs de consigner toute modification apportée au processus, de suivre la production des lots et des substrats, et de garder une piste d'audit de tout changement ou mesure prise pendant le traitement. Cela garantit que les informations les plus récentes sont toujours disponibles. En conclusion, le réacteur ENDURA MATÉRIAUX APPLIQUÉS est un outil de dépôt avancé qui est capable de maintenir une efficacité de production et une flexibilité extrêmement élevées dans une variété de procédés. Il est équipé d'une variété de caractéristiques et de technologies pour garantir des performances et une sécurité optimales, et offre une plate-forme unique pour le contrôle de la production et des capacités à haut débit.
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