Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9115932 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour le dépôt de couches minces conformes spécifiquement pour des applications semi-conductrices. L'équipement peut également être utilisé pour d'autres applications telles que la pulvérisation magnétron à cathode creuse (HCMS) et le dépôt physique en phase vapeur (PVD). AMAT ENDURA est un réacteur CVD de grande taille qui utilise un procédé CVD (PE-CVD) enrichi par plasma. Le PE-CVD permet de déposer des revêtements nettement plus minces et plus conformes que les procédés traditionnels de CVD par lots. Le système dispose d'une chambre de réacteur horizontale, permettant un débit maximal avec une surface limitée. De plus, l'unité de rinçage et d'aération de la chambre et la grande fenêtre de procédé permettent une utilisation avec une large gamme de gaz précurseurs. La machine de détection des points d'extrémité de APPLIED MATERIALS ENDURA est conçue pour fournir une précision très fiable dans la mesure de l'épaisseur du revêtement. Un contrôleur de processus automatisé, conçu spécifiquement pour le réacteur ENDURA, assure un contrôle précis du processus, permettant aux utilisateurs d'assurer un revêtement homogène de chaque substrat. Le réacteur ENDURA AMAT/APPLIED MATERIALS peut être configuré avec une variété de composants, tels que des systèmes de distribution de gaz, des surfaces refroidies à l'eau et des systèmes de chargement automatisés, pour personnaliser l'outil pour des applications de processus spécifiques. Par exemple, d'autres composants communs comprennent : un actif de transfert et de manutention de plaquettes porteuses, un modèle de vide et un équipement automatisé de cartographie de plaquettes. AMAT fournit un service complet, des programmes d'entretien préventif, des pièces de rechange et une formation aux procédés pour assurer le bon fonctionnement et l'optimisation du système. En plus de ces services, leurs mises à jour logicielles et matérielles avancées peuvent contribuer à prolonger considérablement la durée de vie de l'unité. Le réacteur AMAT ENDURA est idéal pour une production à haut volume dans l'industrie des semi-conducteurs, ainsi que pour des applications de recherche et développement. Il est facile à utiliser et offre des performances précises, fiables et précises pour le dépôt contrôlé de couches minces.