Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9116853 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor est un équipement avancé de dépôt de métaux à haut débit conçu pour améliorer les taux de dépôt de métaux et la reproductibilité sur des gravures techniquement exigeantes, le placement des substrats et les procédés de dépôt. Le système permet des sources de dépôt uniques ou multiples, une rotation continue ou périodique des plaquettes, et fournit une grande homogénéité et répétabilité. Le réacteur AMAT ENDURA est composé de plusieurs composants qui travaillent ensemble en tant qu'unité unifiée afin de réaliser efficacement le processus de dépôt. Ces composants comprennent une chambre de procédé, un effecteur final, un chargeur de panneau surélevé, un ventilateur de refroidissement, un accéléromètre, des sources de dépôt multiples et une unité de contrôle spécialisée. La chambre de procédé est le module principal de la machine, composé d'une paire de parois concentriques de cylindre qui contrôlent la pression, le débit et la température. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'effecteur d'extrémité ENDURA permet de placer et de faire tourner des plaquettes à l'intérieur de la chambre, et se positionne au-dessus du chargeur à faible émission de particules, qui permet un chargement et un déchargement rapides et faciles du substrat. Un ventilateur de refroidissement de grande puissance, associé à plusieurs capteurs de température, maintient une répartition homogène de la température dans toute la chambre de procédé. Un accéléromètre avancé est utilisé pour enregistrer et surveiller les mouvements des plaquettes afin de conserver un résultat cohérent. En outre, le réacteur ENDURA est configurable pour plusieurs sources de dépôt, pour un large éventail de types d'alliages et leurs dépôts, y compris le ruthénium, les alliages, l'or, l'aluminium et d'autres. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor offre également une multitude de fonctionnalités qui facilitent la programmation de l'actif, réduisent la variabilité indésirable et augmentent le débit et l'uniformité des processus. La fonction d'entretoisement empêche toute étape d'interfaçage pendant que la plaquette est encore en cours, tandis que le modèle de sécurité empêche toute ouverture accidentelle des portes de la chambre de processus lorsqu'elles sont verrouillées. L'équipement de contrôle permet aux utilisateurs de contrôler et de planifier l'ensemble du processus de dépôt avec précision et précision. Une interface graphique intuitive permet aux utilisateurs de visualiser, d'analyser et de modifier les emplacements et les réglages des substrats en temps réel. Le logiciel permet également la génération automatisée de scripts de recettes pour des dépôts multiples et complexes, pour une exécution de travail plus rapide et plus précise. En résumé, le réacteur AMAT ENDURA est un système avancé de dépôt métallique à haut débit conçu pour automatiser et améliorer l'efficacité du processus de dépôt. Ses composants et logiciels sophistiqués en font une unité fiable, polyvalente et capable qui permet d'améliorer la vitesse et la précision des dépôts métalliques. Cela rend la machine idéale pour une large gamme d'applications de dépôt métallique, telles que les gravures, le placement de substrat et d'autres procédés de dépôt.