Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9116854 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un réacteur de gravure à plasma sophistiqué utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir le plus haut niveau d'uniformité, de productivité et de contrôle tout en maintenant le plus haut niveau de précision et de précision. Le réacteur AMAT ENDURA est utilisé dans le processus de gravure, qui consiste à enlever des matériaux tels que des oxydes et des masques durs pour créer des ouvertures de contact, des tranchées et des vias. Au cœur du réacteur ENDURA MATÉRIAUX APPLIQUÉS se trouve l'équipement Delta Multi-microns, qui utilise trois technologies principales pour obtenir une gravure de précision. Tout d'abord, les collisions gazeuses multi-microns qui entrent constamment en collision des gaz dans la chambre de réaction, leur permettant de mieux réagir avec les échantillons, conduisant à une meilleure uniformité. Deuxièmement, la source de plasma amplifiée magnétron multi-microns, qui utilise l'énergie RF à faible puissance pour améliorer l'uniformité. Enfin, la source de plasma à couplage inductif multi-microns (ICP) est utilisée pour les procédés de gravure ionique réactive par plasma à couplage inductif (ICP-RIE), ce qui améliore la sélectivité des matériaux. ENDURA comprend également un système d'optimisation des recettes propriétaire, qui automatise l'exécution et l'optimisation des recettes pour une productivité maximale. Les commandes d'alimentation fournissent aux utilisateurs un contrôle de tension/courant/puissance précis et leur permettent d'effectuer des réglages pendant le processus de gravure pour obtenir des résultats optimaux. AMAT/APPLIED MATERIALS Le réacteur ENDURA dispose également de plusieurs chambres de procédés, permettant plusieurs chimiographies de gravure, dont le fluor et le chlore au niveau de la couche atomique. Une des principales caractéristiques d'AMAT ENDURA est son fonctionnement multi-modes, qui fournit aux utilisateurs deux modes opérationnels : process et monitor. En mode processus, les utilisateurs peuvent programmer des MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA pour graver les échantillons, tandis qu'en mode surveillance, l'unité observe les échantillons en cours de processus et enregistre les paramètres tels que la pression, la température, les flux de gaz et la densité de la chambre. ENDURA a également des fonctions d'autodiagnostic qui détectent les instabilités des processus et alertent les utilisateurs, afin qu'ils puissent prendre des mesures correctives. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un réacteur de gravure avancé qui fournit une précision et une précision inégalées dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Sa combinaison de technologies innovantes et de systèmes d'optimisation automatisés, la machine Delta Multi-micron et l'outil d'optimisation des recettes permettent aux utilisateurs de graver des structures plus petites et plus complexes avec confiance, assurant des rendements plus élevés et des profits plus importants.