Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9126392 à vendre en France

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ID: 9126392
Taille de la plaquette: 8"
PVD, 8", L/L: Narrow Buffer/Xfter robot: HP Chamber A: pass Chamber B: cool Chamber E: orienter-degas Chamber F: orienter-degas Ch-1: AlCu Ch-2: AlCu Ch-3: AlCu Ch-4: AlCu AC line voltage: 480V delta AC Full load current: 250A AC Frequency: 60Hz
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est une technologie de réacteur chimique de haute puissance spécialement conçue pour les procédés de gravure et de dépôt de semi-conducteurs à haut volume et à haut débit. Cet équipement polyvalent fournit une conception de chambre exceptionnelle et le contrôle des processus pour soutenir la production de composants complexes. Le système est idéal pour un large éventail de besoins avancés en matière de dépôt et de gravure et offre un ensemble flexible d'outils. L'unité AMAT ENDURA est principalement utilisée pour les dépôts chimiques en phase vapeur (CVD) et les procédés de gravure. Il utilise les micro-ondes et la radiofréquence (RF) pour maintenir le contenu de la chambre CVD dans un état plasma. L'énergie micro-ondes est utilisée pour créer des précurseurs et des radicaux, qui peuvent ensuite être utilisés pour déposer des matériaux cibles spécifiques sur des plaquettes ou des substrats. L'énergie RF est utilisée pour maintenir un plasma uniforme et pour entraîner la vitesse de réaction. Ceci assure une accumulation de film uniforme et des taux de dépôt élevés. Le réacteur comprend plusieurs options de traitement puissantes telles qu'une machine CVD moyenne pression, un outil CVD haute pression, un outil de traitement compatible MFC, un modèle dynamique d'échappement hyperfréquence, un module de mélange de gaz actifs et une chambre de traitement de systèmes micro-électro-mécaniques (MEMS). L'équipement multi-processus est conçu pour élargir la gamme des procédés de dépôt et de gravure des matériaux disponibles. Le système offre également un contrôle et une précision exceptionnels, permettant aux utilisateurs d'ajuster facilement les paramètres du processus au besoin. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'unité ENDURA utilise plusieurs technologies de pointe afin d'obtenir des résultats précis. Il est équipé d'une machine de contrôle de processus qui utilise des boucles de rétroaction de chaque chambre pour s'assurer que l'ensemble de l'outil fonctionne correctement. L'actif comprend également un modèle de contrôle du débit massique (MFC) pour assurer un écoulement précis des matières vers la chambre et des flux de gaz précis dans tout l'équipement. Le réacteur dispose également d'un régulateur de température intégré, qui peut être facilement ajusté pour répondre à différentes applications. De plus, les scanners et les actionneurs sont complètement intégrés dans le système de post-traitement précis. Cela permet un meilleur contrôle et des résultats plus précis. Dans l'ensemble, l'unité ENDURA est un choix idéal pour des processus de gravure et de dépôt de matériaux précis et avancés. Il offre un excellent contrôle des processus, une gamme étendue de matériaux qui peuvent être traités, et un fonctionnement fiable. La polyvalence de la machine et son contrôle précis de la température en font un outil puissant pour la fabrication de composants complexes.
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