Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9157987 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) qui est généralement utilisé pour les procédés de fabrication de matériaux. L'équipement fonctionne en décomposant une espèce gazeuse à des températures allant jusqu'à 1050 ° C, en utilisant habituellement l'hexaméthyldisilizane (HMDS) comme précurseur. Le procédé de décomposition génère une phase vapeur composée d'éléments de silicium, d'oxygène et de carbone, et ces particules de phase vapeur interagissent alors avec le substrat cible, entraînant la formation d'un mince film de matériau sur le substrat. AMAT ENDURA est optimisé pour une flexibilité maximale et une qualité uniforme du dépôt en couches minces. Le système est composé de plusieurs sections de processus unitaires, telles que la station Prime, les interconnexions et les contrôleurs de processus de substrat. La station Prime est l'unité centrale de contrôle du réacteur, où l'opérateur établit les paramètres du processus de dépôt, y compris les espèces de réactifs, la puissance du chauffage, la température, la pression de la chambre et la température du substrat. Il surveille également les paramètres du processus et dispose d'un ensemble d'indicateurs d'avertissement lorsque l'un des paramètres tombe hors de leurs paramètres. Les Interlocks sont les dispositifs électroniques de contrôle qui sont utilisés pour surveiller les conditions du réacteur et les contrôleurs de processus du substrat. Les Interlocks contrôlent l'environnement de la chambre de réaction en mesurant la température, la pression et le débit de gaz, ainsi que le mouvement du substrat. Les contrôleurs du procédé substrat sont chargés de maintenir la température du substrat et une croissance uniforme du revêtement sur le substrat en contrôlant le mouvement angulaire du substrat ainsi que le débit et la composition des gaz réactifs. La machine dispose également d'une vaste collection de composants auxiliaires qui sont utilisés pour assurer un fonctionnement fiable du procédé, tels que les tubes de source, le distributeur d'échantillons, le soufflet et le bulleur. Les tubes sources fournissent les précurseurs chimiques en phase vapeur à la chambre de réaction, tandis que l'alimentateur aide à l'introduction de matière solide dans la chambre de réaction. Le soufflet est une combinaison d'un isolateur et d'un dispositif de mesure de température qui permet un contrôle précis de la température de la chambre de réaction. Le bulleur aide également à introduire des gaz réactifs dans le réacteur. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA est très efficace, car il est conçu pour obtenir un contrôle précis du processus de dépôt en couches minces et réduire le nombre de substrats nécessaires au traitement. En outre, il convient à un large éventail d'applications, allant du traitement général des semi-conducteurs à la fabrication de dispositifs photovoltaïques et optoélectroniques. Sa fiabilité et sa flexibilité en font un excellent choix pour tout type de dépôt en couches minces.