Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9167421 à vendre en France
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ID: 9167421
Taille de la plaquette: 12"
PVD Preclean chamber, 12"
Includes:
CTI Cryogenics P300 On-Board cryopump
P/N: 8116250G001 & 8113192G001 Control module
GRANVILLE-PHILLIPS Stabil-ion gauge & 352 gauge controller
AMAT 0010-21748 RF match
Process chems: DI water helium argon nitrogen.
RÉACTEUR AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA est un outil utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour les applications de dépôt physique en phase vapeur (PVD) et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Il fournit un débit de qualité de production avec plusieurs configurations de chambre et la capacité d'effectuer une variété de dépôts. AMAT ENDURA est un outil autonome et facile à utiliser qui simplifie le fonctionnement, améliore les résultats des processus et réduit les temps d'arrêt tout en réduisant le temps de mise sur le marché. Il dispose d'une conception innovante de verrouillage de charge qui maximise l'efficacité, permettant aux utilisateurs de transférer des substrats entre différentes zones de processus. Le principal avantage de APPLIED MATERIALS ENDURA est sa tête de procédé haute performance, spécialement conçue pour la métallisation complexe de nouvelle génération et les applications diélectriques avancées. Cette tête de procédé est capable de traiter jusqu'à cinq étapes de procédé dans une seule chambre, ce qui permet d'effectuer des dépôts multiples en temps de cycle très réduit. En outre, ENDURA dispose de sources de gaz à haut rendement, offrant une stabilité accrue de la température dans la chambre de processus. Il en résulte une uniformité améliorée des plaquettes et une répétabilité des processus pour un produit plus cohérent. Avec AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA, il est également possible d'atteindre de faibles niveaux de défauts dans la même chambre de procédé. Ceci est dû à sa faible contamination par les particules, qui est activée grâce à un système modulaire breveté d'alimentation de grille qui assure seulement les particules contaminées s'échappent. AMAT ENDURA dispose également d'une plate-forme multi-chambres, permettant aux utilisateurs de choisir les configurations appropriées pour leurs applications spécifiques. Avec plusieurs configurations disponibles, les utilisateurs peuvent facilement personnaliser leurs configurations et effectuer plusieurs types de dépôts en même temps, maximisant leur flexibilité de processus et leur permettant d'atteindre rapidement les résultats souhaités. Enfin, MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA est un outil facile à utiliser. Il comprend une interface utilisateur intuitive à écran tactile qui simplifie le processus de création de recettes et d'optimisation des processus, aidant les utilisateurs à atteindre leurs résultats de produits désirés rapidement et avec précision. En résumé, le réacteur ENDURA fournit un débit de production avec différentes configurations de chambres, permettant de multiples étapes de processus et dépôts en temps de cycle réduit. C'est un outil performant et facile à utiliser qui simplifie le fonctionnement et réduit le temps de traitement tout en obtenant des résultats reproductibles avec de faibles niveaux de défauts.
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