Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9167548 à vendre en France

AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un outil de traitement des substrats dans les environnements de recherche et de production. Cet outil est spécialement conçu pour les applications de traitement monobloc et par lots dans la production de semi-conducteurs, d'emballages avancés et d'énergie photovoltaïque/solaire. Ce réacteur utilise un processus unique de transport continu de plaquettes qui fournit un débit de plaquettes amélioré et des performances de rendement améliorées. AMAT ENDURA est le choix idéal pour le procédé. Il offre un traitement complet des plaquettes dans le même réacteur avec des débits allant jusqu'à 100 plaquettes par heure. L'outil offre une grande variété d'options pour le traitement des modules, y compris le recuit, l'oxydation, la gravure, le dépôt de diamants, l'implantation ionique et ainsi de suite. Le système offre également un module de chargement et de déchargement automatisé avec 0,5 seconde de temps de transfert entre modules. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA est composé de la chambre du réacteur, du gestionnaire de substrat et de plusieurs modules de traitement. La chambre du réacteur a une forme cylindrique avec un rapport surface/volume important, permettant un fonctionnement à basse pression et une contamination plasmatique minimale. Cela rend le système approprié pour le traitement des applications monobloc et de traitement par lots. Le gestionnaire de substrat est conçu pour assurer un transfert rapide et précis des substrats entre la cassette chargée et les modules de traitement. ENDURA offre une flexibilité, une répétabilité et une fiabilité supérieures. Cela le rend idéal pour les tâches avancées de R&D ainsi que pour la production de masse. Il est équipé de systèmes de contrôle de précision et de systèmes de chauffage précis, ce qui signifie que l'outil peut contrôler avec précision les gaz de procédé et les températures de traitement. Il en résulte des taux de dépôt inférieurs à ceux des autres systèmes de dépôt. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est conçu pour fournir des processus fiables car il dispose de divers paramètres de processus redondants pour les mesures de température, de pression et de débit. Il est également conçu avec une gamme de caractéristiques de sécurité. Cela comprend un moniteur de température de surface et des capteurs de surchauffe situés dans la chambre de traitement. En termes de performance, AMAT ENDURA est inégalée. Cet outil offre des temps de cycle rapides, une répétabilité de processus supérieure et des rendements de processus élevés. Il offre également la dernière automatisation de processus, permettant à la fois des applications de traitement unique et par lots. Sa conception polyvalente et sa fiabilité en font le choix idéal pour toute application de traitement de substrat.