Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9176602 à vendre en France
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ID: 9176602
Taille de la plaquette: 12"
IMP Ti Chamber, 12"
Includes:
CVD Tin chamber
Preclean chamber
Currently warehoused.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un réacteur conçu pour fournir des applications pour la recherche avancée de matériaux sur une large gamme de températures. L'équipement est équipé d'une chambre à température uniforme et d'une large gamme de caractéristiques telles que le traitement par plasma, deux fours, et une zone chauffée qui fournit des substrats à panneaux plats avec une excellente uniformité à n'importe quelle température. Il est donc idéal aussi bien pour les procédés thermiques rapides (RTP) que pour les procédés de recuit thermique rapide (RTA). La zone chauffée d'AMAT ENDURA est capable de fournir des températures de 80 ° C à 1050 ° C L'uniformité dans les sources de chaleur assure l'uniformité dans le traitement thermique, essentiel à la recherche de matériaux avancés. Le système intègre également des sources de plasma, qui à leur tour fournissent un plasma à basse température pour le traitement et le dépôt des matériaux. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA est conçu pour travailler avec des matériaux à haute sensibilité tels que l'oxyde d'étain d'indium (ITO) et les matériaux diélectriques, ainsi que des matériaux optiquement actifs comme la céramique et le diamant. L'unité ENDURA comprend deux modules de four, l'un avec un élément chauffant en graphite et l'autre avec un élément chauffant en carbure de silicium (SiC). Les éléments chauffants sont à la fois dimensionnés jusqu'à 1000 ° C et montés dans une chambre à vide pour offrir une excellente uniformité de chauffage sur le substrat. Les modules du four offrent une excellente uniformité à des températures plus élevées, ce qui est crucial pour la recherche de matériaux avancés. La machine est équipée de deux sources de plasma, une pour les procédés de gravure ionique réactive (RIE) et une pour les procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA dispose également d'un outil de mesure paramétrique intégré (PMS) qui permet au personnel de laboratoire de suivre l'avancement de ses expériences. Le PMS offre des relevés de courant, de température et de résistance, afin que les chercheurs puissent mesurer avec précision les paramètres de leurs expériences en temps réel. Le PMS facilite également l'extension des capacités de l'actif, permettant l'intégration des dernières technologies de développement de matériaux, telles que la fabrication 3D ou les applications de nanotubes. Dans l'ensemble, AMAT ENDURA est une solution de réacteur et de laboratoire fiable et puissante pour la recherche et le développement de matériaux avancés. Sa chambre à température uniforme et son large éventail de caractéristiques, y compris deux fours et zones chauffées, des sources de plasma et un modèle de mesure paramétrique, en font un choix idéal pour effectuer des opérations difficiles de traitement des matériaux. L'équipement est à la fois polyvalent et fiable, et peut fournir d'excellents résultats dans un délai accéléré.
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