Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9182274 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est une plate-forme de processus multi-chambres conçue pour des applications avancées de recherche et développement de semi-conducteurs. Il peut être utilisé pour un large éventail d'exigences de processus, telles que le cycle de vie, le marquage, le dopage, la métrologie et la croissance épitaxiale. La plate-forme AMAT ENDURA se compose d'une série de chambres interconnectées qui pilotent le dépôt, la gravure et l'analyse des matériaux en cours de traitement. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La plate-forme ENDURA est un équipement haute densité qui peut traiter jusqu'à cinq plaquettes de différentes tailles en même temps. Il est capable de débit élevé et peut exécuter plusieurs dépôts et gravures en parallèle. Le modèle est équipé de sources d'énergie RF et DC de grande puissance, ainsi que de mécanismes de chauffage/refroidissement rapide, afin d'assurer une uniformité et un contrôle maximum du processus. Pour le dépôt, la plate-forme ENDURA peut être configurée pour utiliser soit le dépôt physique en phase vapeur (PVD), soit le dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Il est bien adapté aux techniques de dépôt thermique ou à basse pression et offre une excellente couverture d'étape. Le procédé de dépôt présente une grande répétabilité ainsi qu'une bonne homogénéité et adhérence. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Les capacités de gravure d'ENDURA sont basées sur le traitement plasma à partir de divers gaz. Cela garantit une qualité de gravure élevée avec une faible défectivité pour une variété d'applications. Le modèle a intégré des recettes de gravure pour les travaux de gravure de routine, ainsi qu'un système de contrôle de vitesse de gravure flexible pour les tâches les plus exigeantes. Il est également équipé d'une unité de rétroaction en boucle fermée - des programmes informatiques spécialisés qui peuvent automatiser le processus et surveiller les taux de gravure et les conditions du point final. La machine AMAT ENDURA est également conçue pour l'analyse métrologique. Il a intégré des caractéristiques de métrologie d'isolation de tranchées peu profondes (STI) qui le rend excellent pour le développement et les essais de processus nécessitant un contrôle serré de l'épaisseur du film. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La plateforme ENDURA est un outil puissant pour la recherche et le développement de semi-conducteurs avancés. Il est flexible et rentable, ce qui en fait un investissement judicieux pour tout laboratoire ou installation de fabrication. La machine peut non seulement augmenter le débit, mais aussi fournir des résultats reproductibles et de haute qualité avec une excellente uniformité.