Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9190959 à vendre en France

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ID: 9190959
Taille de la plaquette: 8"
Vectra imp chamber assy, 8" Wide chamber body Magnet P/N: 0010-21767 Includes: Coil match box Bias match box B101 Heater, 8" Shutter assy 3 Position gate valve 3Ph enhanced cryo MDX L12M With cable HFV 8000 With cable 11KW CX 600S With cable.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un équipement de dépôt en couche mince à base de CVD (Chemical Vapor Deposition) conçu pour fournir un dépôt précis en couche mince d'épaisseur et d'uniformité précises. Le système AMAT ENDURA est une solution avancée, à haut débit et à haut débit qui est capable de produire des couches minces cohérentes et fiables avec une excellente uniformité et conformité. Les principales applications de cette unité comprennent le dépôt de films diélectriques, les couches barrières, les couches de passivation et les couches d'arrêt de gravure. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA se compose de trois composants principaux pour fournir le film mince désiré : la planche de chargement, le réacteur et la machine de commande. La planche de chargement est constituée d'une série de pinces qui maintiennent les substrats et les transportent jusqu'à la cuve de réaction. La cuve réactionnelle est le composant le plus important de l'outil et se compose typiquement d'une grande chambre cylindrique en acier inoxydable contenant deux ou trois électrodes refroidies à l'eau avec des centaines d'électrodes diamantées à l'intérieur de la chambre pour créer un champ électrostatique uniforme et négatif. Le modèle de contrôle de l'actif ENDURA permet un contrôle précis de l'ensemble du processus de dépôt. Cela inclut l'établissement de paramètres tels que la pression, la température et les débits de gaz vers la cuve réactionnelle, ainsi que la compensation de puissance des électrodes. En outre, la température de la cuve réactionnelle, le nombre d'électrodes et l'espacement des électrodes, ainsi que la vitesse de transport du substrat peuvent être ajustés selon les besoins. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est conçu pour un dépôt rapide de couches minces avec uniformité et conformité sur une grande variété de substrats, y compris les matériaux organiques et inorganiques. Ce matériel peut également atteindre des taux de dépôt plus élevés que d'autres systèmes similaires, avec des taux de dépôt allant jusqu'à 10 micromètres (µm) par heure. Ce système permet d'obtenir des résultats très reproductibles et reproductibles, assurant la précision et la précision du processus de dépôt des couches minces. Pour l'uniformité et la répétabilité des processus, AMAT ENDURA dispose également d'un certain nombre de fonctions intégrées de protection contre les pannes, telles qu'une unité de protection contre les températures excessives et un ensemble de capteurs pour surveiller le processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA est une machine polyvalente et dynamique idéale pour les industries nécessitant un dépôt de couches minces de haute qualité. L'outil ENDURA offre des résultats de processus supérieurs, une excellente uniformité et conformité, un taux de dépôt supérieur et une variété de fonctionnalités de sécurité automatique. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA actif est une solution idéale pour le développement et la fabrication de produits en couches minces de haute qualité.
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