Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198483 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un réacteur haute performance conçu et fabriqué par AMAT, leader mondial des plates-formes technologiques de pointe. Ce réacteur de pointe est conçu pour faciliter le dépôt de couches minces et d'autres matériaux sur des substrats semi-conducteurs. AMAT ENDURA est capable de déposer de l'oxyde, du silicium polycristallin, du nitrure et des matériaux à base de métaux à des taux de dépôt allant jusqu'à 200 nm/min. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La chambre de procédé polyvalente d'ENDURA peut être équipée de configurations de sources multiples, allant d'une source unique à quatre précurseurs au maximum. En outre, le réacteur peut également être adapté pour trois sources de plasma et une source physique de dépôt en phase vapeur. Le réacteur ENDURA dispose de plusieurs zones de régulation de température, permettant un contrôle précis de la température et une uniformité du substrat. Le contrôleur de procédé offre jusqu'à neuf zones de température pour faciliter le dépôt d'une variété de matériaux sur un substrat. Ce contrôleur de procédé permet également de réaliser jusqu'à 32 étapes supplémentaires pour affiner le processus de dépôt du substrat. Pour améliorer les performances du réacteur, AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA dispose du logiciel AMAT ENDURA EQ. Ce logiciel de pointe surveille chaque paramètre de processus et fournit des retours en temps réel sur les opérations du réacteur. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA possède également une série de caractéristiques de sécurité avancées. Le réacteur est conçu pour répondre aux normes de sécurité strictes fixées par l'industrie des semi-conducteurs. Par exemple, l'extérieur du réacteur est entouré d'une salle blanche de classe 1000. De plus, une vitesse de fuite de 1,3 Pa cc/sec a été rapportée avec le réacteur ENDURA. En outre, AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA dispose également d'un interrupteur d'arrêt d'urgence et d'une alarme qui sonne si le réacteur atteint des niveaux de température dangereux. Idéal pour diverses applications semi-conductrices, le réacteur AMAT ENDURA est utilisé dans la production de DRAM, SRAM, NOR, NAND et RFI. Ce réacteur polyvalent peut être utilisé pour la fabrication d'une variété de conceptions et de tailles de puces. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA prend également en charge un large éventail de technologies de processus, y compris les composants, les structures 3D et l'emballage. Dans l'ensemble, le réacteur ENDURA offre des performances, une polyvalence et une sécurité supérieures, ce qui le rend idéal pour une variété d'applications de semi-conducteurs. Son design fiable et à la fine pointe de la technologie et ses logiciels de pointe permettent de maximiser les cadences de production tout en respectant les normes les plus élevées de l'industrie.
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