Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198496 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor, ou AMAT ENDURA, est un équipement de pointe de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD). Il est utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs pour créer des films diélectriques de haute qualité, ainsi que de nouvelles applications de mémoire et de dispositifs logiques nécessitant des matériaux avancés. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur ENDURA présente une variété de caractéristiques et de capacités innovantes qui en font un outil idéal pour de nombreux procédés avancés de dépôt de films. Il utilise une plate-forme multi-processus qui supporte les applications de dépôt, de gravure et d'implantation dans un système. Cela permet d'utiliser un plus grand nombre de matériaux et de procédés différents, ce qui le rend adapté à une variété d'applications. Le réacteur est conçu avec des contrôleurs numériques embarqués et une unité de chargement de cuve sophistiquée pour une manipulation facile et efficace des plaquettes. Ses capacités d'automatisation avancées facilitent le chargement et le déchargement des plaquettes et contribuent également aux applications de dépôt et de gravure multicouches. ENDURA dispose également d'une machine de dépôt de film électromécanique très efficace et personnalisable. Il est capable de produire des films avec une grande homogénéité, une meilleure vitesse de contrôle et de dépôt, et une consommation d'énergie raisonnable. Il comprend également une étape d'axe XYZ pour permettre l'automatisation du procédé, y compris la capacité de déplacer la plaquette pendant les processus de dépôt et de gravure. De plus, l'outil offre une surveillance RF (radiofréquence) précise permettant aux utilisateurs de contrôler avec précision la puissance RF et de surveiller l'ensemble du processus de dépôt. Ceci améliore la capacité du procédé, ainsi que la cohérence et l'uniformité de l'épaisseur et de la composition de la couche de dépôt. En outre, AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA fournit également un contrôle de température in situ, permettant de contrôler et d'ajuster avec précision la température du procédé pendant la production. Dans l'ensemble, AMAT ENDURA Reactor est un puissant atout de dépôt pour la fabrication de semi-conducteurs. Sa suite de capacités avancées en fait un outil idéal pour créer des films diélectriques de haute qualité et d'autres applications de mémoire et de dispositifs logiques nécessitant des matériaux avancés. Ce modèle permet un traitement efficace et contrôlé des différents films métalliques et diélectriques et assure une qualité et une uniformité constantes des dépôts.
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