Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198502 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un équipement de co-pulvérisation multi-chambres qui est utilisé pour déposer des films minces sur des plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir des dépôts de couches minces de faible défaut et de haute qualité afin de répondre aux spécifications strictes de l'industrie de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. AMAT ENDURA est capable de déposer à des températures ultra basses et est utilisé pour des procédés PVD pour le dépôt de couches diélectriques sur des plaquettes. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA se compose de deux chambres principales : la chambre propre et la chambre de procédé. La chambre propre est un environnement à faible humidité, ultra propre avec une température d'environ 200C. L'environnement est maintenu propre grâce à une série de systèmes de filtration, de filtres de recirculation et de pompes à ions. Il dispose également d'un distributeur de lisier programmable et d'un système de transfert de cassettes pour le chargement et le déchargement des plaquettes. La chambre de procédé est un environnement à basse pression et à basse dépression maintenu à des températures comprises entre 150C et 250C. La chambre comporte plusieurs ports, dont un port de bras mécanique, un port de vue et un port interférométrique laser, pour la surveillance et le contrôle du processus de dépôt. Il contient trois sources de matériau de dépôt, et un mandrin de plaquette mobile entre elles. Les sources peuvent être configurées de manière à ce que différentes sources puissent être actives en même temps, permettant le dépôt multicouche de matériaux. ENDURA dispose d'une unité de surveillance interne active qui comprend un moniteur de processus, un détecteur de fuites par évaporation, une unité de contrôle en boucle ouverte et un capteur de température, qui sont tous utilisés pour maintenir les conditions de la chambre et assurer la qualité du dépôt. La machine dispose également de capacités automatisées de manipulation des plaquettes, ainsi que d'un algorithme d'emboîtement des plaquettes piloté par ordinateur, qui peut être utilisé pour optimiser l'alignement des plaquettes pendant le traitement. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est conçu pour offrir polyvalence, précision et consistance dans le dépôt de couches minces. Il est capable de produire des films minces de haute qualité, avec de faibles niveaux de contaminants et de défauts. Il peut déposer jusqu'à cinq matériaux différents sur une seule plaquette, chaque couche ayant une épaisseur et une composition chimique différentes. Ces caractéristiques et capacités font d'AMAT ENDURA une plate-forme hautement compétitive pour le dépôt de films minces et d'autres matériaux sur des plaquettes. C'est une solution puissante, fiable et économique pour les opérations de fabrication de dispositifs semi-conducteurs.