Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198504 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA™ Le réacteur est un outil pour les applications de dépôt de semi-conducteurs et est conçu pour fournir un contrôle des procédés de pointe de l'industrie, un faible coût de propriété et un débit élevé pour améliorer les performances des appareils. Ce réacteur est un équipement à haute température, basse pression, de type annulaire qui utilise plusieurs points d'injection de gaz pour un contrôle précis de la température et du débit. Le réacteur AMAT ENDURA assure un contrôle précis, reproductible et uniforme des processus en concentrant l'uniformité des couches, la suppression des particules et la rugosité des bords de ligne (LER). Le système de contrôle intégré offre des couches de contrôle robustes et un réglage précis du débit de gaz inerte ; cette capacité permet l'uniformité de l'épaisseur du film, la suppression des particules et la rugosité des bords de ligne pour répondre aux exigences exigeantes des plaquettes. Cette unité est en outre soutenue par sa source RF ajustée, qui contribue à assurer une répartition uniforme des contraintes sur la surface de la plaquette, ce qui permet une meilleure uniformité d'adhérence et de dépôt tout en préservant les performances électriques. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur ENDURA offre également un contrôle automatisé des processus, avec des recettes prédéfinies et des paramètres de cycle. Cela permet des processus répétables avec un apport humain minimal pour optimiser les performances. Son moniteur d'état intégré permet une révision instantanée de tous les paramètres de processus pour améliorer le dépannage et le contrôle. Cet outil offre en outre des capteurs intégrés qui permettent une optimisation continue et un contrôle d'uniformité en fournissant un retour critique aux boucles de correction de rétroaction. ENDURA Reactor comprend plusieurs fonctions de sécurité avancées, dont une enceinte de sécurité pour loger le réacteur, un dispositif d'évacuation rapide avec interrupteur de pression réglable et alarmes sonores, et un bouclier de sécurité de confinement de gaz inerte. En outre, le modèle supporte la compatibilité RF à fréquence variable pour le contrôle complet des paramètres de dépôt ainsi que la surveillance à distance des processus. Dans l'ensemble, le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un outil exceptionnellement efficace pour les applications de dépôt de semi-conducteurs qui a été conçu pour offrir un faible coût de propriété, un débit élevé et un contrôle précis des paramètres de processus pour améliorer significativement les performances du dispositif. L'interface utilisateur intuitive permet un fonctionnement sans faille et une gamme de fonctions de sécurité sont également incluses pour assurer un fonctionnement efficace tout en gardant la sécurité comme une priorité absolue.