Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198509 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor (AMAT ENDURA Reactor) est un outil polyvalent et fiable pour l'industrie des semi-conducteurs. Il est utilisé dans le développement de dispositifs avancés pour la microélectronique, les dispositifs MEMS et les emballages IC avancés. Le réacteur est conçu pour permettre des processus à haute température dans une conception robuste qui offre un contrôle et une sécurité accrus des processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA Le réacteur comprend trois chambres de réacteur standard : une chambre principale, une deuxième chambre et une troisième chambre. La chambre principale est optimisée pour des températures plus élevées (jusqu'à 853 ° C) et est utilisée pour le traitement thermique. La deuxième chambre est typiquement utilisée pour les gaz réactifs, et comporte une source d'épitaxie à fond plat sur le côté. La troisième chambre offre un environnement basse pression pour les procédés de dépôt tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt par pulvérisation. Le réacteur est capable de travailler dans de nombreux mélanges gazeux, dont l'azote standard (N2), l'argon (Ar), l'hélium (He) et l'hydrogène (H2). Il a également la capacité de s'adapter aux précurseurs de la chimie sur mesure, permettant des procédés plus avancés tels que le dépôt chimique de gaz (CHD). Le niveau de vide du réacteur peut être manipulé avec un équipement numérique en boucle fermée et un transducteur de pression de haute précision pour la vérification. ENDURA Reactor est également équipé d'un système de manutention des plaquettes, ce qui permet aux clients de placer leurs substrats avec précision dans l'unité. Il dispose d'une pince à plaquettes très précise utilisant une machine mécanique, permettant un placement précis et uniforme des substrats. Il dispose également d'une interface d'entrée/sortie extensible, assurant le contrôle de plusieurs réacteurs et effecteurs finaux. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor est également équipé d'un outil de contrôle avancé, permettant aux clients de surveiller et de modifier l'état de leurs processus de lots en temps réel. Il comprend un algorithme PID avancé pour assurer un contrôle précis de la température de réaction, du timing et d'autres paramètres du processus. L'actif comprend également un modèle d'acquisition de données et la capacité de stocker des recettes pour maximiser l'efficacité de la répétabilité des processus. Enfin, il dispose d'un grand écran qui permet aux clients de surveiller facilement l'état du processus. AMAT ENDURA Reactor est un outil fiable et polyvalent qui convient à une variété d'applications de traitement. Sa conception robuste et ses systèmes de contrôle avancés offrent un contrôle et une sécurité accrus des processus, ce qui permet d'obtenir des résultats cohérents et performants. Il est également facile à utiliser et offre aux clients la flexibilité nécessaire pour optimiser leurs paramètres de processus.