Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198512 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un réacteur de gravure à plasma monobloc à haute performance et à grande échelle conçu pour des procédés de fabrication complexes. L'équipement offre des capacités de traitement supérieures en termes de débit, de complexité, d'uniformité et de fiabilité, permettant des applications avancées de dépôt en couches minces, de gravure et de pulvérisation. Le système AMAT ENDURA est conçu pour fournir le plus haut niveau de débit et de contrôle de processus, tout en offrant la configurabilité et l'uniformité maximales. Il utilise une unité de distribution de gaz avancée, un générateur de plasma automatisé, et une géométrie de chambre qui permet de contrôler le processus de précision. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La machine ENDURA dispose d'un ensemble multizone de distribution de tête de douche/gaz configurable qui assure un contrôle précis des gaz de réaction et permet de définir un large éventail de paramètres de processus. L'ensemble de tête de douche utilise une conception de confinement statique ou dynamique qui dirige les gaz de réaction du plasma uniformément sur les parois de la chambre et la surface du substrat, ce qui entraîne un dépôt de film très uniforme, une gravure et une pulvérisation. Sa configuration unique permet des résultats extrêmement précis et reproductibles, ainsi qu'une flexibilité accrue des processus. En outre, l'outil ENDURA utilise un assemblage ion-getter/baffle pour améliorer l'homogénéité et l'uniformité du plasma, et un paquet d'optimisation cycle-temps qui permet un débit plus rapide. L'actif comprend également un programme de contrôle automatique des processus qui permet aux ingénieurs d'application de surveiller et d'ajuster étroitement les paramètres du processus plasma en temps réel. Le modèle AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA utilise une variété de gaz de procédé, y compris l'oxygène, le chlore, l'argon et le fluor, permettant une large gamme d'applications de traitement à base de plasma, y compris le PECVD, le RIE et la pulvérisation par pulvérisation. Avec ses caractéristiques avancées et son design robuste, l'équipement AMAT ENDURA est capable de produire des films minces de haute qualité, des gravures et des films métalliques pulvérisés même aux niveaux les plus avancés de complexité de processus. Dans l'ensemble, LES MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA est un réacteur de gravure à plasma monobloc de haute performance, riche en fonctionnalités, capable de produire des films minces de haute qualité, des gravures et des films de pulvérisation métallique, même aux niveaux les plus avancés de complexité de processus. Le système offre des capacités de traitement supérieures en termes de débit, de complexité, d'uniformité et de fiabilité pour toutes les applications de dépôt en couches minces, de gravure et de pulvérisation.