Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198514 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Le réacteur ENDURA est un équipement de dépôt de couches minces de pointe utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. AMAT ENDURA est un système avancé de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) capable de déposer des couches minces hautement conformes, conformes et contrôlées par la contrainte. L'unité dispose d'une conception multi-chambres qui offre une polyvalence maximale dans les processus de dépôt. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La machine ENDURA utilise un outil robotisé de manutention de plaquettes avec un transfert de plaquettes sous vide à grande vitesse qui assure un transport sûr et fiable des plaquettes. Le porte-plaquettes de l'actif bénéficie de piédestaux de support isolés pour un centrage correct des plaquettes, un contrôle individuel du chauffage de la zone et une procédure d'étalonnage automatisée pour améliorer l'uniformité. Le modèle présente également une conception améliorée de cloche à quartz avec une source de dépôt intégrée qui est configurée pour une plus grande flexibilité de la vitesse de dépôt avec une faible variabilité du procédé. De plus, l'équipement permet de traiter plusieurs plaquettes dans une seule chambre, ce qui augmente le débit et la productivité. En termes de capacité de processus, ENDURA permet le dépôt PECVD de diélectriques de haute qualité ainsi que de résistances spécialisées, grille et autres matériaux utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le système a également la capacité de déposer des couches conformes d'organométalliques et d'autres matériaux. De plus, AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA dispose d'une chambre de sublimation numérique à vide (DSC) qui est utilisée pour effectuer des processus de purification de Sicon. L'unité est capable de réaliser des processus de recuit à haute température (HT) pour augmenter la contrainte du matériau ou réduire la rugosité de la largeur de ligne (LWR), ainsi que des processus de nettoyage ALD pour éliminer les contaminants organiques sur la surface de la plaquette. La machine AMAT ENDURA est conçue pour une sécurité accrue avec un outil amélioré de confinement du plasma qui empêche les particules plasmatiques en retour d'impact sur la chambre et ses composants. Enfin, l'actif dispose de plusieurs capteurs et alarmes pour informer les opérateurs de tout problème de modèle afin d'assurer une sécurité, des performances et une fiabilité optimales. En conclusion, le réacteur ENDURA MATÉRIAUX APPLIQUÉS est un équipement polyvalent capable d'effectuer des processus de dépôt et de purification d'une manière sûre et fiable. Le système est très polyvalent et facilite le dépôt efficace de couches minces et d'autres matériaux utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il dispose également de capteurs et d'alarmes pour garantir une sécurité, des performances et une fiabilité optimales.