Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198529 à vendre en France
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L'équipement AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA (AMAT ENDURA) PVD est un équipement de dépôt physique en phase vapeur (PVD) conçu pour déposer des couches minces de matériaux métalliques ou alliés sur la surface du substrat de composants électroniques, médicaux et en verre. Ce système a été conçu pour répondre à un large éventail de besoins du marché, y compris la production à haut volume et les opérations multi-utilisateurs. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur ENDURA est basé sur une conception optimisée de bande dynamique double qui fournit une grande zone de dépôt avec un débit plus élevé et un coût moindre par caractéristique. Il comprend également des fonctionnalités d'économie d'espace qui aident à réduire l'empreinte d'une installation de dépôt. L'unité est livrée avec une large gamme de configurations de machines à vide et de chambres qui permettent une grande variété d'applications. L'outil dispose d'un outil de serrage électrostatique robuste qui assure la planéité du substrat, ainsi que d'un robot auto-aligneur dynamique (DAR) qui assure un positionnement précis du substrat et un rendement élevé de couches bien formées. En outre, le modèle a été conçu avec une capacité avancée de contrôle des processus, variabilité, modularité et évolutivité pour diverses applications et séquences de processus. L'équipement appuie également les technologies de pointe telles que le dépôt par couche atomique (DLE), l'implantation par ions chauds (IH) et le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD). Il existe également des options pour ajouter des aimants supplémentaires pour le traitement laser et le traitement optique des matériaux. ENDURA a été conçu pour divers matériaux et produits chimiques, y compris pour les procédés de gravure, la photolithographie, l'électrodéposition, et plus encore. Il est également conçu pour traiter une large gamme de substrats, y compris le cuivre, l'acier inoxydable, le titane, et plus encore. Le système AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA offre des capacités de métrologie et d'inspection performantes et flexibles. Cela inclut la métrologie in situ pour s'assurer des spécifications exactes tout en recueillant simultanément des données de processus détaillées. Par exemple, une approche de parcelle de données prend en charge la métrologie simultanée, la collecte de données et le contrôle des processus, ainsi que le contrôle prédictif de la rétroaction. De plus, l'unité comprend une machine automatisée d'ingestion de plaquettes qui élimine la configuration manuelle et offre une voie efficace pour réduire les temps d'arrêt. En outre, l'outil comprend un certain nombre de fonctionnalités d'automatisation avancées qui augmentent le débit et le rendement. En conclusion, AMAT ENDURA est un actif PVD supérieur conçu pour répondre à une série de besoins du marché. Il est conçu pour différents matériaux, substrats et procédés, avec des capacités de contrôle et d'inspection robustes et avancées. Le modèle offre également des fonctionnalités d'économie d'espace et d'automatisation pour un débit, un rendement et un rapport coût-efficacité maximaux.
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