Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198534 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor est un processeur plasma à haute température utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs et de MEMS. Conçu pour fournir un traitement efficace et rentable d'une large gamme de substrats pour la fabrication de dispositifs électriques avancés, AMAT ENDURA Reactor utilise des systèmes de chauffage et de refroidissement de substrat de pointe ainsi que des systèmes de dépôt et de gravure pour fournir à la fois une haute qualité et une productivité élevée. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA La chambre de traitement du substrat du réacteur est contrôlée en température par un certain nombre de systèmes qui peuvent accueillir le traitement de substrats isolants et conducteurs. La température varie de 200 ° C à 1000 ° C, ce qui permet de tremper, recuit et diffuser les processus. La chambre du réacteur est également hermétiquement fermée avec une pression de vide interne pouvant atteindre 10-6 torr. Cela permet l'utilisation d'une variété de chimies de gaz et permet le traitement de substrat robuste ENDURA Reactor dispose également d'un générateur de plasma conçu pour fournir une large gamme de températures de fonctionnement et de niveaux de pression. Le générateur de plasma travaille en conjonction avec une alimentation RF à haute fréquence réactive pour générer des radicaux et des espèces ioniques qui stimulent l'oxydation, la gravure et le dépôt. Les antennes à anneau distributif assurent une couverture uniforme des processus sur les grands substrats. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor dispose également de matériel sophistiqué de chargement et de déchargement de substrat. Il s'agit d'un système de manutention automatisé avec chargement in situ de cassettes, permettant le traitement d'un maximum de trois substrats à la fois. AMAT ENDURA Reactor est également compatible avec une large gamme d'outils de cluster automatisés, permettant une intégration transparente avec des serrures de charge automatisées et des robots pour le traitement à grande vitesse. En plus de ses performances de traitement de substrat, APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor comprend également sa propre métrologie in situ et son propre système de rétroaction pour évaluer le développement de substrat en temps réel. Cela permet un suivi et une rétroaction des processus en temps réel, essentiels pour produire des résultats cohérents et de haute qualité. Dans l'ensemble, ENDURA Reactor est un système haut de gamme pour la fabrication avancée de semi-conducteurs et de MEMS. Ses sous-systèmes et fonctionnalités avancés garantissent des résultats de haute qualité tandis que sa large compatibilité avec les outils de cluster automatisés assure un traitement efficace et à haut débit. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor est la solution idéale pour la fabrication moderne de semi-conducteurs et de MEMS.