Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198535 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un réacteur (ou « chambre de réaction ») conçu pour être utilisé avec une variété de procédés, y compris le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt physique en phase vapeur (PVD) et le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD). AMAT ENDURA se compose d'une chambre à vide, d'un ensemble d'alimentation électrique et d'un régulateur de débit massique pour contrôler l'acheminement des gaz et autres réactifs dans l'équipement. Le système a été conçu avec un accent sur la flexibilité, permettant l'utilisation de multiples sources de réactifs et même différentes tailles de substrats (dans sa taille admissible de chambre). Le single-wafer APPLIED MATERIALS ENDURA est capable de créer une homogénéité ~ 1,5 % sur un substrat de 9 pouces et atteint un taux de particules inférieur à 3 comptages par seconde. Il dispose d'une chambre ronde de 70 mm de diamètre, une fenêtre en quartz, et est réglable en pression jusqu'à 500 mbar. Une fois un procédé établi, les paramètres tels que la température, la pression et la concentration de réactif peuvent tous être réglés et ajustés en temps réel pour permettre un contrôle très précis du processus de dépôt de la plaquette. ENDURA est également livré avec une large gamme de composants de vide et de température. Par exemple, l'unité comporte un ioniseur de purge des réactifs, ainsi qu'une machine de manutention des gaz pour le refoulement des gaz et des mélanges gazeux. L'outil comprend également une pompe à rugissement mécanique à vitesse variable, une pompe turbo-moléculaire, un contrôleur de pompe turbomoléculaire et un contrôleur de pompe à rugissement à deux vitesses. L'actif est également livré avec une variété de systèmes de surveillance et de contrôle de processus qui aident à assurer l'uniformité des dépôts de films. Ces systèmes comprennent des régulateurs de débit massique pour un contrôle précis de la température du substrat, une plaque à chaud-froid pour le chargement des échantillons, une plaque fendue pour l'uniformité de température dans la chambre, un pyromètre optique pour mesurer la température du substrat, un interrupteur d'interception et des contrôleurs de processus. Dans le cadre de ses fonctions de sécurité, le modèle est équipé de capteurs de surpression et d'un bouton d'urgence pour arrêter rapidement un processus si nécessaire. Cette chambre de réaction de haute technologie est un outil polyvalent que les professionnels utilisent dans des processus avancés tels que la création de matériaux nanométriques, le génie chimique et les technologies quantiques. Avec sa conception robuste, ses fonctionnalités avancées et ses capacités de contrôle précises, AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un outil inestimable pour ceux qui cherchent à passer au niveau supérieur.