Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198543 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor est un système de réacteur à plasma de pointe conçu pour des processus à étapes critiques dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. Il est capable de maintenir les températures de processus les plus élevées de tout outil existant, ce qui le rend idéal pour les applications critiques de basse température et de dispositifs 3D. Le réacteur AMAT ENDURA est composé de plusieurs chambres différentes. Le port de chargement est une zone dédiée au chargement/déchargement en chambre. Il contient le robot, qui est chargé de transférer la plaquette du port de chargement à la chambre de réaction, ainsi que d'entretenir d'autres chambres. La chambre de pression de base maintient le substrat et la pompe en place pendant les processus, et elle contient également des éléments de régulation de température et d'autres instruments. La chambre de réaction est le cœur du réacteur et contient le matériau source de plasma et le contrôleur, qui est chargé de réguler les paramètres du procédé. Enfin, la chambre d'échappement contient les turbopropulseurs et les gaz inertes, qui sont utilisés pour réguler la pression dans le système et maintenir les conditions de processus désirées. En ce qui concerne les paramètres du procédé, APPLIED MATERIALS ENDURA est conçu pour accueillir une large gamme de températures, y compris celles allant jusqu'à 25 ° C et jusqu'à 1400 ° C Il est conçu pour fournir un environnement d'interface uniforme et propre, empêchant la plaquette d'être exposée au dépôt diélectrique ou à la contamination tout au long du processus. La maintenance proactive est également une caractéristique clé, permettant aux utilisateurs de mettre en place leurs recettes avant tout processus pour améliorer la performance des outils et maintenir une répétabilité de haut niveau. Le réacteur ENDURA est également livré avec un large éventail de diagnostics avancés et de contrôles de qualité, y compris la surveillance in situ en temps réel des étapes de processus, des techniques de métrologie multiple pour caractériser les résultats de gravure et de dépôt, et la technologie de traceur de cristaux pour surveiller la structure et l'orientation des cristaux. La tomographie automatique de cohérence optique (PTOM) est également une option pour AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA, permettant aux utilisateurs de surveiller la structure de l'appareil à un niveau de sous-microns à travers la plaquette. Le réacteur AMAT ENDURA est un outil idéal pour la fabrication avancée d'IC, offrant des processus de fabrication fiables avec des interfaces propres et uniformes et des performances répétables. Sa large gamme de températures et ses utilitaires de processus polyvalents le rendent idéal pour une variété d'étapes critiques, telles que la gravure, le CVD et le PECVD. Les capacités de surveillance complètes de ce système, combinées à la maintenance et au diagnostic proactifs, donnent aux utilisateurs la précision et la précision dont ils ont besoin pour réussir dans l'industrie des semi-conducteurs en constante évolution.