Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198545 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Le réacteur ENDURAMD est un équipement avancé de dépôt en phase vapeur (PVD) utilisé pour enrober les substrats de matériaux à couches minces. Ce système PVD haute performance permet de contrôler avec précision les paramètres du processus et une excellente utilisation des matériaux, ce qui permet de réaliser des économies de débit et de coût élevées. L'unité offre d'excellentes performances et une fiabilité constantes. AMAT ENDURAMD est composé d'une chambre en acier inoxydable refroidi à l'eau qui contient un ensemble de mandrins et de panneaux de gaz. Les matériaux de base sont maintenus dans des conteneurs de source scellés à l'intérieur du panneau de gaz. Un évaporateur à faisceau d'électrons est utilisé pour immoler les matériaux sources. La vapeur de matière obtenue traverse un plateau diffuseur et est éventuellement déposée sur le substrat. Le panneau à gaz comprend un chauffe-panneaux, une fenêtre optique et des entrées de gaz nobles vers l'avant. Pour assurer des conditions de dépôt sans humidité et sans oxygène, un gaz noble de haute pureté est introduit dans la chambre avant le dépôt. Les gaz passent ensuite par un régulateur de débit massique intégré (MFC) pour contrôler précisément le débit de gaz et l'épaisseur du dépôt. Le mandrin du substrat d'électrode est monté au sol et est constitué d'un ensemble de trois électrodes cylindriques concentriques. Ils sont utilisés pour contrôler avec précision les températures du substrat ainsi que pour le chauffage et le refroidissement du substrat. De plus, le mandrin permet la rotation et le déplacement du substrat dans le plan focal de la chambre. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La machine ENDURA® comprend également un module de contrôle pour surveiller le processus de dépôt. Le module de commande se compose d'une console, d'un logiciel, d'une alimentation électrique, d'un outil de verrouillage et de pompes. L'actif est conçu pour faciliter l'installation, l'entretien et le fonctionnement tout en offrant un excellent niveau de contrôle. Le réacteur ENDURA® est un modèle PVD fiable et puissant. Il offre une utilisation précise des matériaux, un débit élevé et une excellente uniformité des matériaux. C'est une solution idéale pour de nombreuses applications de dépôt en couches minces.