Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9202551 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un équipement multifonctionnel conçu pour un traitement fiable et performant des substrats. Il est utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour des procédés avancés d'emballage, d'interconnexion et d'intégration 3D tels que le dépôt diélectrique, le soulèvement métallique, la métallisation et l'isolation diélectrique. La plateforme AMAT ENDURA offre une excellente uniformité et répétabilité tout en réduisant la défectivité en éliminant les effets thermiques des réacteurs traditionnels. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA est un équipement de production entièrement automatisé équipé de multiples modules de processus. Cette plate-forme dispose d'une chambre de haute technologie contenant un plateau de plaquettes et plusieurs zones thermiques. Le plateau est constitué d'un suscepteur, d'un anneau de maintien des plaquettes et de broches de levage des plaquettes. Cette plate-forme est également intégrée à un système de distribution de gaz à haut rendement, des buses réglables, des manutentionneurs automatisés, des pompes à vide et des générateurs RF. De plus, l'unité ENDURA utilise des contrôles de processus avancés pour assurer une uniformité et une répétabilité exceptionnelles tout au long du processus. La plateforme AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est conçue pour répondre aux défis du traitement CVD, ALD et PECVD. Cette machine offre un débit élevé, ainsi qu'une excellente fiabilité et un temps de disponibilité de l'équipement. La plate-forme est idéale pour le dépôt diélectrique multistack pour les interconnexions avancées et les applications de mémoire. En outre, l'outil peut supporter divers procédés de dépôt de métaux tels que le dépôt de couvertures et le décollage. Cette plate-forme fournit des matériaux efficaces et contrôlés de refroidissement et de transfert de couches, permettant une meilleure défectivité, la stabilité thermique, et la couverture des étapes de film. Le réacteur AMAT ENDURA utilise des procédés automatisés pour réduire les coûts et maximiser les rendements. Cet actif supporte des tailles de substrat allant de 25mm à 450mm. Sa conception multi-chambres élimine le besoin de manutention manuelle des matériaux et permet des processus répétables avec une variation minimale de la charge thermique. En outre, la plate-forme ENDURA MATÉRIAUX APPLIQUÉS dispose d'une puissance RF réglable et de paramètres de fréquence, permettant aux utilisateurs d'affiner les processus pour obtenir des résultats optimaux. ENDURA est une solution robuste, fiable et multifonctionnelle pour les applications avancées d'emballage, d'interconnexion et d'intégration 3D. Ses processus automatisés efficaces facilitent le débit maximal et la répétabilité tout en assurant une homogénéité exceptionnelle et la qualité de surface des substrats. Avec des réglages de puissance RF réglables, un plateau de plaquettes et des buses réglables, le modèle AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un outil puissant pour obtenir des performances optimales et cohérentes dans divers processus de dépôt.
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