Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9202812 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est une plate-forme avancée de gravure/dépôt conçue pour fournir des rendements de production supérieurs, un temps de cycle minimal et des performances de coût supérieures. Il s'agit d'un équipement complet, intégré de gravure/dépôt avec une large gamme de caractéristiques qui permettent des capacités avancées et des applications de haute technologie dans la fabrication de substrat. Ce réacteur de dépôt/gravure monobloc offre un meilleur débit, une plus grande flexibilité de procédé et une plus grande uniformité de rendement que les outils de gravure/dépôt compétitifs. Le système AMAT ENDURA se compose d'une chambre de vaporisation à deux réservoirs, d'une chambre à vide à deux segments, d'une source d'ultra-basse pression (ULV), d'une unité avancée de chargement des plaquettes et d'une suite logicielle de contrôle des processus. La chambre de vaporisation à deux réservoirs abrite une source de matériau source sur mesure et la chambre à vide à deux segments contient un puissant module de gravure RIE/plasma avec une gamme de processus à haut rendement. La source de pression ULV fournit des pressions ultra-basses pour une performance optimale des sources de plasma ECR, ce qui permet d'augmenter les capacités de gravure/dépôt. La machine avancée de chargement de plaquettes offre une action de chargement/déchargement lisse et des caractéristiques de sécurité pour protéger la plaquette et assurer des résultats cohérents. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'outil ENDURA est conçu pour effectuer une variété de processus de gravure/dépôt. Il prend en charge un large éventail d'applications de procédé, y compris les fonctions de gravure/dépôt à haut rapport d'aspect, les applications en nanotechnologie, la gravure à sec et les traitements thermiques. L'actif facilite également le contrôle intégré des processus, permettant une optimisation simultanée des processus, des rendements plus élevés et une plus grande fiabilité. Le modèle ENDURA est bien adapté à la production à haut débit de dispositifs semi-conducteurs avancés. Il dispose d'un équipement de contrôle de processus intégré avec génération automatisée de recettes, génération de recettes et réglage de paramètres, plage de fonctionnement ultra-basse pression, et capacité à intégrer des générateurs de plasma et des capteurs à distance. Il dispose également d'une source de matériaux de source sur mesure et d'une gamme de processus à haute efficacité. Le système AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA a été conçu en mettant l'accent sur la répétabilité des procédés, les rendements élevés de production et la flexibilité accrue des procédés. Sa suite logicielle intégrée de contrôle des processus permet un contrôle complet des paramètres de gravure/dépôt, permettant d'améliorer les rendements, les délais d'exécution rapides et les performances fiables. L'unité AMAT ENDURA peut être utilisée dans un large éventail d'applications, y compris le MEMS, les dispositifs optoélectroniques et la production de dispositifs RF sur le terrain. Les capacités avancées de la machine permettent de réduire les temps de cycle, d'améliorer les rendements et d'économiser des coûts pour la production de dispositifs avancés.