Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9203800 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 9203800
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1999
PVD Chamber, 6" 1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un réacteur polyvalent et ultramoderne, monocouche ou par lots, conçu pour la fabrication de semi-conducteurs et le traitement connexe. Il s'agit d'un outil polyvalent conçu pour des applications de croissance épitaxiale, de dépôt, de gravure et d'oxydation. Les processus de gravure, de dépôt et d'oxydation sont tous combinés en une seule unité intégrée, ce qui élimine le besoin de multiples outils de procédé. AMAT ENDURA a une conception de paroi froide haute performance pour des vitesses de gravure et de dépôt uniformes dans de grandes charges de processus, ainsi qu'une configuration flexible et facile. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA est équipé de systèmes avancés de surveillance des pannes pour aider à prévenir d'éventuels dysfonctionnements de la sécurité et de la machine. Il a un design moderne unique avec une grande surface revêtue tête de douche et un tube d'entrée en spirale qui distribue le mélange et le flux de gaz uniforme sur l'ensemble de la pièce. Ceci rend le dispositif adapté à des procédés tels que la croissance épitaxiale et le dépôt de couches de faible k. Avec une conception à quatre chambres pour offrir de la flexibilité, ENDURA peut répondre à une variété de besoins de processus. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA offre une gamme d'options technologiques, telles que le procédé thermique rapide (RTP), le nettoyage à distance du plasma, le recuit de flamme et le recuit thermique rapide. Le dispositif supporte également le traitement thermique rapide (RTP) et le recuit à haute température (HTA). Les procédés de recuit rapide, de haute précision, sélectif en contraintes et de recuit rapide au four sont également supportés. AMAT ENDURA dispose d'une chambre de canalisation intégrée et descendante qui permet un traitement continu des plaquettes et offre une excellente uniformité de température à des vitesses élevées et à basse pression. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA est également équipé d'une gamme complète de fonctionnalités d'automatisation qui permettent à l'utilisateur de contrôler avec précision les paramètres du processus. Cela inclut le mode automatique et semi-automatique, ainsi qu'une commande manuelle complète. L'interface graphique conviviale et les capacités d'enregistrement des données réduisent le temps d'installation et de collecte des données, ce qui en fait une excellente option pour la production de volume élevé et les applications de haute technologie. ENDURA est un réacteur idéal pour intensifier les processus et assurer une croissance ultra propre. Il est conçu pour une cohérence maximale du procédé et une faible contamination des particules, ce qui en fait un excellent outil pour la fabrication avancée de semi-conducteurs.
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