Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9222234 à vendre en France
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

Vendu
ID: 9222234
Taille de la plaquette: 8"
System, 8"
Includes:
(2) Chambers OD
(2) Chambers TiN
(2) Chambers hot Al.
AMAT/APPLIED MATERIALS Le réacteur ENDURA est un équipement de gravure plasma polyvalent et performant qui offre une gamme de fonctionnalités et de capacités. Il est conçu pour soutenir des applications de gravure de différents types, allant des photomasques ultra-fins aux plaquettes semi-conductrices. AMAT ENDURA est capable de produire des caractéristiques à haut rapport d'aspect avec une faible défectivité et une uniformité de gravure quasi parfaite sur une gamme de matériaux. Au cœur du système APPLIED MATERIALS ENDURA se trouve la technologie d'alimentation brevetée ExtorQTM : un générateur RF compact, puissant et polyvalent qui offre des performances supérieures et un contrôle sans précédent du processus plasma. L'alimentation ExtorQTM permet aux utilisateurs de contrôler l'énergie ionique, la densité ionique et la chimie du plasma à une seule source, ce qui permet de contrôler avec précision les paramètres de gravure et de minimiser la variabilité des processus. ENDURA offre également une gamme de capacités avancées de surveillance et de contrôle des processus. Le logiciel de contrôle et d'analyse de l'unité comprend des outils d'optimisation automatique des processus et des capacités de conception d'expériences : des outils pour la mise en place de conditions de traitement des plaquettes qui sont reproductibles et hautement programmables. Le logiciel prend également en charge l'accès à distance et la surveillance, permettant l'optimisation des processus à distance. RÉACTEUR AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA offre également une large gamme d'options de chambres, y compris PE-CD, PE-BT et PE-OD. Chaque configuration de chambre utilise une variété de configurations d'aimants et de sources de résonance cyclotron électronique (ECR). Avec l'ajout d'AMAT ENDURA APPLIED MATERIALS ENDURA Total Chamber Control (ETCC), les utilisateurs peuvent établir des motifs de faisceau uniformes, permettant des résultats de processus uniformes pour différents types de chambres. En outre, le réacteur ENDURA offre une gamme de recettes de processus automatisées, assurant la répétabilité des processus par les utilisateurs et augmentant le débit. En outre, AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA process chamber dispose de modules de gestion des substrats (SM) et de Load Lock qui permettent un transfert et une manipulation efficaces des substrats avec une intervention manuelle minimale. Dans l'ensemble, le réacteur AMAT ENDURA est une machine de gravure puissante et riche en fonctionnalités qui fournit des procédés robustes et fiables. Avec son alimentation ExtorQTM, la surveillance avancée des processus, l'accessibilité à distance et les recettes de processus automatisés, le réacteur ENDURA MATÉRIAUX APPLIQUÉS est le choix idéal pour les utilisateurs qui ont besoin de résultats de gravure précis et un contrôle de processus serré.
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