Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9258297 à vendre en France
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ID: 9258297
Taille de la plaquette: 8"
System, 8"
Wide body LLC
V452
HEWLETT PACKARD Robot: Buffer HP and transfer VHP
(2) TTN Chambers
(2) AL Chambers
PCII Chamber
(2) Orient degas chambers
Cryopump: 3-Phase enhanced
(2) CTI 9600 Compressors
NESLAB Chiller.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor est une plate-forme de procédé multimode spécifiquement conçue pour être utilisée dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. Ce réacteur fournit une précision au niveau de la tranche avec des étapes de processus à la fois vapeur et liquide, combiné avec une répétabilité leader de l'industrie avec des résultats cohérents. AMAT ENDURA Reactor a la capacité de chauffer et de refroidir avec précision les plaquettes et les substrats, et offre une large gamme de plages de température, de pression et de débit pour permettre les processus les plus complexes. La conception de pointe offre une gestion thermique dynamique qui convient à la fois aux processus thermiques et aux processus humides. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur ENDURA est équipé de joints muraux optimisés, qui offrent un temps de confinement court et un cycle thermique très efficace. Cette fonctionnalité assure la scalabilité des processus afin que toutes les plaquettes puissent être traitées avec les mêmes résultats. La gestion thermique dynamique crée un cyclage thermique rapide qui contribue à garantir des performances cohérentes. L'élément chauffant d'ENDURA est contrôlé avec précision et son uniformité de revêtement est vérifiée à l'aide de la réflectométrie par interférence laser (LIR) pour garantir des résultats cohérents. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor offre aux utilisateurs la possibilité de traiter jusqu'à quatre plaquettes en même temps. Cela permet de traiter plusieurs plaquettes en un seul cycle, ce qui augmente le débit et l'efficacité. Le collecteur de diffusion de gaz (GDM) d'AMAT ENDURA assure une homogénéité de processus sur toutes les plaquettes. Le GDM a été produit à l'aide d'un équipement de balayage laser sophistiqué afin d'assurer l'exactitude et l'uniformité des processus. De plus, chaque module du collecteur est capable de fournir jusqu'à quatre environnements individuels de contrôle du débit, ce qui permet de personnaliser le réacteur en fonction des différentes exigences du procédé. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur ENDURA assure la régulation de la température et la flexibilité du procédé. Le réacteur offre deux types de contrôle de température - un système statique, qui permet une précision à long terme et une unité dynamique, qui permet un suivi rapide de la température. Les deux systèmes permettent un chargement et un déchargement faciles et rapides des plaquettes de manière rapide et cohérente. La machine d'acquisition de données intégrée (DIAS) assure le suivi en temps réel des performances et de la stabilité du procédé d'ENDURA Reactor. Le réacteur est également équipé d'un outil d'échappement complet pour s'assurer que toutes les fumées du procédé sont épuisées en toute sécurité. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor est un réacteur fiable, flexible et polyvalent qui répond aux exigences de la production avancée de dispositifs semi-conducteurs. Cet actif offre un contrôle des processus flexible et fiable et une gestion thermique précise, qui garantit que toutes les plaquettes sont traitées avec des résultats cohérents. AMAT ENDURA Reactor permet un traitement multiple des plaquettes en un seul cycle et son modèle intégré d'acquisition de données garantit que tous les processus sont sûrs et fiables.
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