Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9265756 à vendre en France
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ID: 9265756
System, 12", parts system
Missing parts:
(2) Dry pumps for load module
Dry pump for transfer module
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor (AMAT ENDURA) est une plate-forme de dépôt chimique en phase vapeur (MOCVD) métallique à haut débit conçue pour permettre les dispositifs logiques 3D les plus avancés. Avec un débit de pointe de 500 plaquettes par heure et un design robuste et fiable, APPLIED MATERIALS ENDURA est un outil puissant pour la fabrication d'appareils. ENDURA dispose d'une configuration de source binaire révolutionnaire, qui permet un contrôle précis du rapport halogénure pour un dépôt précis et précis des COV. Ceci permet un contrôle précis des concentrations de réactifs et des temps de réaction, entraînant une dérive stoechiométrique minimale et une manufacturabilité supérieure. En outre, les systèmes de distribution de vapeur de la plus grande pureté sont utilisés, assurant une répétabilité élevée et des performances de processus cohérentes. La conception innovante du châssis AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA permet également le dépôt de couche atomique (ALD) avec la capacité de supporter un plus large éventail de conditions de traitement telles que la température, la pression et les combinaisons de réactifs. Un système de contrôle avancé permet de regloom temps par zone et assure les conditions de traitement les plus avancées sont utilisées. En outre, le système dispose d'une capacité intégrée pour la détection rapide des paramètres et la rétroaction des processus. La conception ergonomique d'AMAT ENDURA permet un accès facile aux composants de la chambre, assurant un entretien pratique et un dépannage. Cette conception garantit également qu'il peut facilement s'adapter aux espaces de travail standard des clients et est également compatible avec une gamme de systèmes de robotique et de levage existants. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA fournit une plate-forme MOCVD fiable, rentable et avancée pour les clients, qui ont besoin de la plus haute performance de processus et le plus haut débit de leur équipement. Il offre un équilibre parfait entre performance et productivité, ce qui se traduit par une efficacité accrue et des coûts globaux moindres. ENDURA est un outil fiable, robuste et économique pour la fabrication d'appareils de pointe.
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