Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9296941 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un réacteur de dépôt physique en phase vapeur (PVD) conçu pour fournir des capacités de dépôt et de gravure de plasma dans un seul équipement. AMAT ENDURA est conçu pour fournir des films de la meilleure qualité et des meilleures performances dans un environnement à haut débit. La chambre est construite de jusqu'à cinq composants distincts : le porte-substrat, la source haute fréquence, le mandrin, la chambre de serrure de charge et la source secondaire. Le porte-substrat permet au système de manipuler plusieurs morceaux de substrat de n'importe quelle taille jusqu'à 300mm. La source haute fréquence est utilisée pour créer du plasma de forte puissance qui est utilisé pour casser des composés dans les gaz de procédé. Le mandrin sert à maintenir le substrat pendant le processus, tandis que la chambre de verrouillage de charge est conçue pour réduire la contamination en permettant le chargement et le déchargement des substrats sans exposition à l'atmosphère. Enfin, la source secondaire est utilisée pour introduire des getters et d'autres gaz composés. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La technologie Multi-Zone Control™ d'ENDURA offre plusieurs zones de dépôt et de gravure à l'intérieur d'une même chambre. Cette technologie permet aux opérateurs d'adapter parfaitement leurs exigences de processus à l'unité et d'obtenir la plus haute performance possible du produit. Plusieurs sources de dépôt de films, y compris les sources de pulvérisation et de plasma, peuvent être utilisées sur un seul substrat, permettant à la fois une résistance aux feuilles élevée et des couches à haute conductance. En outre, la machine est capable de graver à travers une large gamme de matériaux dont des métaux, diélectriques et photorésist. ENDURA est également équipé d'une variété de fonctionnalités automatisées qui permettent d'assurer la répétabilité et la précision des processus. Des paramètres automatisés tels que la durée du processus, la température et les paramètres de pression peuvent être programmés et sauvegardés pour s'assurer que les résultats demeurent cohérents quel que soit l'opérateur. En outre, l'outil dispose d'un ensemble de caractéristiques de sécurité, y compris des contrôleurs de pression et des verrous de charge qui réduisent le niveau de risque lors de l'exploitation de l'actif. Dans l'ensemble, AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un puissant réacteur physique de dépôt en phase vapeur qui offre des performances élevées et fiables dans un environnement à haut débit. Avec sa Technologie de Control™ Multizonale et traits automatisés, les opérateurs peuvent créer des films de haute qualité et des gravures à l'eau forte avec le processus incomparable repeatability.