Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9312918 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 9312918
Taille de la plaquette: 12"
PVD Systems, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est un réacteur de gravure et de dépôt très avancé qui est couramment utilisé dans la fabrication de matériaux semi-conducteurs. Sa capacité à produire des composants nanotechnologiques extrêmement précis est inégalée, ce qui en fait un outil puissant et fiable dans l'industrie des semi-conducteurs. AMAT ENDURA est un système de réacteur monobloc utilisé pour les procédés de gravure et de dépôt. La forme de la chambre est telle qu'elle assure une uniformité en plasma et en flux optique. L'intérieur est constitué de deux électrodes opposées dont chacune est alimentée par une source RF de 13,56 MHz. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La source de plasma d'ENDURA est optimisée pour assurer un positionnement précis des ions, conduisant à un contrôle serré des processus. Cela permet également de minimiser les champs électriques et de réduire la dérive. La conception du réacteur permet une homogénéité de gravure supérieure et des caractéristiques de surface plus précises. Les procédés de dépôt peuvent être adaptés pour obtenir une résistivité spécifique, une composition de film et un profil dopant. Pour assurer la cohérence de l'environnement dans la chambre, ENDURA utilise une série de boucliers et de blindages pour séparer le substrat du plasma afin de réduire les dommages potentiels. Cela permet également de minimiser les champs électriques et la dérive. Pour protéger davantage le substrat, le réacteur est équipé de pompes à chasse d'eau automatisées qui contrôlent la pression à l'intérieur de la chambre et la maintiennent à un niveau de fonctionnement sûr. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA possède un certain nombre de caractéristiques précieuses pour améliorer le débit, y compris une doublure pyrolytique à poches multiples et des conduites de gaz de haute pureté. De plus, le système peut être interfacé avec l'automatisation pour faciliter la gestion des processus, comme effectuer des opérations en mode lot et gérer les piles de plaquettes comme vous le souhaitez. AMAT ENDURA est un outil éprouvé et rentable utilisé dans de nombreuses opérations, conçu pour apporter des améliorations significatives aux processus, la polyvalence et des rendements supérieurs. Ses performances fiables en font une solution idéale pour les procédés où les petites caractéristiques, les rendements et le coût sont importants.
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