Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9401876 à vendre en France
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Vendu
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA est une plate-forme pour la fabrication de semi-conducteurs de nouvelle génération. C'est un équipement dopant pour le dépôt de matériaux avancés sur des plaquettes semi-conductrices dans le processus de fabrication. AMAT ENDURA est un système multi-chambres à vide utilisé pour les implantateurs ioniques, les dépôts chimiques en phase vapeur (CVD), les dépôts physiques en phase vapeur (PVD), les dépôts plasmatiques, les dépôts chimiques en phase vapeur (PECVD), les dépôts chimiques en phase vapeur d'origine métallique (MOCVD), les dépôts sur couche atomique (ALD) et les sputter. Il est conçu pour fournir un contrôle précis des processus, une excellente répétabilité et une productivité accrue. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La plate-forme ENDURA combine plusieurs chambres et sources de processus en une seule unité différenciée par ses caractéristiques de haute performance et de sécurité avancée. Il intègre une serrure de charge pour charger et décharger automatiquement les chambres du réacteur et un plateau de traitement conçu pour accueillir divers composants, y compris des ions, des précurseurs et même une source de pulvérisation répétable. La machine supporte également la manipulation robotique des plaquettes, permettant le chargement et le déchargement simultanés d'un certain nombre de plaquettes. La plateforme comprend de nombreuses fonctionnalités avancées, permettant un dopage précis, une qualité de processus supérieure et un meilleur débit. Les systèmes de contrôle des processus d'ENDURA utilisent des diagnostics avancés, permettant une surveillance in situ de la chambre de processus et des plaquettes, ainsi qu'une optimisation complète des processus pour des rendements supérieurs et une mise à l'échelle à des densités d'appareils plus élevées. La plate-forme dispose également d'une série de fonctions de sécurité, dont une turbo-pompe à haut rendement pour l'évacuation, un mandrin électrostatique qui élimine la contamination par les particules, et de multiples interfaces pour la surveillance et le contrôle à distance. La plateforme AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA a été largement testée et validée dans des conditions similaires à celles de l'environnement de fabrication. Cela garantit aux clients un dopage de précision et une fiabilité exceptionnelle. Ses caractéristiques de sécurité avancées maximisent la protection des plaquettes tout au long du processus, tandis que sa conception efficace réduit la consommation d'énergie. Cela fait d'AMAT ENDURA une plate-forme idéale pour la fabrication de semi-conducteurs.
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