Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE+ #293591355 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE+
ID: 293591355
Taille de la plaquette: 12"
CVD Systems, 12".
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE + est un équipement de dépôt à haute performance conçu pour une variété de procédés de synthèse et de dépôt de matériaux réactifs spécialisés. Le système SE + est un réacteur à lot monobloc qui assure un dépôt multi-source et multi-élémentaire dans un environnement à vide élevé. L'unité est destinée à être utilisée pour réaliser des films minces, des masques durs et d'autres films minces et matériaux semi-conducteurs, avec une plage d'épaisseur de 1 nm à 10 μ m. Le SE + est entièrement automatisé et offre de nombreuses options de processus et capacités de contrôle. Le SE + utilise des techniques avancées telles que les oxydants, les dépôts chimiques en phase vapeur (PECVD), les dépôts physiques en phase vapeur (PVD) et les dépôts en couche atomique (ALD). La machine a également une épaisseur de procédé variable en contrôlant le temps d'exposition et la pression en fonction du résultat souhaité. Le SE + peut également créer une variété de films avec une homogénéité exceptionnelle à des débits élevés. Le SE + dispose de contrôles de température et de pression de chambre avancés qui fournissent des films de haute qualité et sont également compatibles avec une large gamme de substrats. Il comprend un module d'oxydation comprenant des hydrocarbures, de l'oxygène et d'autres gaz inertes ; il est également capable de maintenir une plage de température et de pression du substrat plus élevée. Le substrat est placé dans un outil entièrement automatisé à chambre étanche, et tout le traitement a lieu à l'intérieur, ce qui élimine la nécessité d'un nettoyage post-dépôt supplémentaire, d'un traitement et d'un nettoyage intermédiaire. L'actif dispose également d'une géométrie de chambre conçue pour l'uniformité optimale des processus et le contrôle des paramètres de dépôt. De plus, la chambre est entourée d'un modèle d'injection séquentielle de gaz à haut rendement (GSIS) pour assurer un approvisionnement adéquat en précurseurs et rendre chaque processus reproductible. La SE + dispose également d'une capacité d'accord intuitive et automatisée et d'un équipement expert qui optimise les paramètres de dépôt et permet de reproduire les résultats des couches minces à chaque dépôt. Le système est extensible avec plusieurs sources de processus et une gamme de technologies de processus optionnelles telles que le chauffage résistif, la détection laser, et plusieurs options de mise à niveau matérielle. En résumé, AMAT Producer SE + est une unité de réacteur par lots monocouche haute performance qui est conçue pour optimiser les processus de synthèse et de dépôt des matériaux réactifs. Il est capable de créer une variété de films minces, masques durs et autres films minces et matériaux semi-conducteurs avec précision, uniformité et haut débit. En outre, la SE + est également livrée avec des contrôles de température et de pression de chambre avancés, une géométrie de chambre conçue pour une uniformité de processus et un contrôle de paramètres optimaux, une machine d'injection séquentielle de gaz (GSIS) à haut rendement, et un réglage intuitif, automatisé et l'optimisation des outils experts.
Il n'y a pas encore de critiques