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CVD System, 12" (2) Chambers Chamber A and B: Chamber process: XJ (PE Si-lane twin) APEX 3000 RF Ge
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CVD System, 12" Process: ACL Sub process: HT ACL SMIF / FOUP (2) Twin chambers Chemical: C3H6, NF3 A
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CVD System, 12" (3) Twins Process: HT SiN OS FES (CGA) RPC NPP Throttle valve 2004 vintage.
143
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CVD System, 12" (3) Chambers 2006 vintage.
120
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CVD System, 12" Process type: PETEOS 2006 vintage.
127
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CVD System, 12" ACL (3) Twin HF and LF generator LCF 2007 vintage.
102
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CVD System, 12" Process: NBLOK (3) Chambers (6) RF Generators FOUP Interface (2) KAWASAKI FI Robot
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CVD System, 12" UV Cure & SiN FI: 5.3 FI Robot: KAWASAKI Chamber A: Nano cure (UV Cure) Chamber B:
126
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CVD System, 12" Process: SA-USG (2) Twins FI Robot: KAWASAKI Chamber configuration: Chamber-A,B RPS
133
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CVD System, 12" Process: P-TEOS(USG) (2) Twins FI Robot: KAWASAKI Chamber configuration: Chamber-A,
170
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Producer SE
Twin chamber, 12" Process: APF Major part: RPS: MKS FI80131(Astron ex) HF RF Generator: 0920-00107(
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Producer SE
Twin chamber, 12" Process: APF Major part: RPS: MKS FI80131(Astron ex) HF RF Generator: 0920-00107(
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Producer SE
Twin chamber, 12" Process: HT SiN Major part: RPS: MKS FI80131(Astron ex) Ceramic heater: AIN Gas p
133
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Producer SE
CVD System, 12" Process: BPSG 2 Channels 2006 vintage.
135
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Producer SE
CVD System, 12" (2) Chambers Customer fab options: Electrical requirements: Line frequency: 60Hz Li
157
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Producer SE
Vapor control system assembly Industrial enclosed gas P/N: 417336-DF-GP.
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Producer SE
CVD System, 12" (2) Chambers 2006 vintage.
112
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Producer SE
CVD System, 12" Process: PETEOS 2006 vintage.
103
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Producer SE
PECVD System, 12" Process: APF (2) Load ports Does not include Hard Disk Drive (HDD) Power supply: 2
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