Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293614934 à vendre en France
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ID: 293614934
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
PECVD System, 12"
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur SE (Split Electron Beam) est un réacteur à faible vide conçu pour le traitement au niveau des plaquettes. Il offre un contrôle exceptionnel de la qualité du film, des capacités de processus robustes et une protection de chambre fiable. Elle convient à des applications générales telles que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) ou la gravure et la planarisation mécanique chimique (CMP). AMAT Producer SE est également capable d'effectuer des réactions de forte fragmentation de précurseurs complexes et de recuit de gaz rares. La chambre réacteur de APPLIED MATERIALS Producer SE est une construction cylindrique en acier inoxydable. La chambre a un diamètre de 136 cm et une profondeur de 20 cm. Il peut contenir jusqu'à 20 plaquettes à la fois et peut accueillir des plaquettes de tailles et d'épaisseurs variables. Le producteur SE dispose d'une source avancée de faisceau d'électrons pour un contrôle accru des processus. La source de faisceau d'électrons promet de fournir un degré élevé de précision et de précision pour la répétabilité dans les tâches de traitement. Le faisceau génère des électrons énergétiques focalisés horizontalement sur les plaquettes. Le faisceau est alors modulé en frappant la chambre de confinement de la plaquette augmentant l'homogénéité des films déposés. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE peut être utilisé en mode basse dépression, ce qui facilite les temps de traitement plus rapides. Le réacteur utilise le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par électrons (E-CVD), la source de faisceau d'électrons fournissant une puissance optimale pour améliorer l'efficacité et l'uniformité du dépôt par évaporation des films. La capacité E-CVD d'AMAT Producer SE peut être utilisée pour le dépôt de métaux, comme l'aluminium, pour une utilisation dans des circuits intégrés. Le réacteur est également capable de procédés de recuit à gaz rare utilisés dans la fabrication de transistors à couches minces (TFT) présents dans les écrans LCD et PDP. Tous ces procédés nécessitent une température élevée et peuvent être automatisés à l'aide d'un système de contrôle intégré. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE est livré avec une technologie de pointe dans laquelle plusieurs outils d'automatisation permettent à l'utilisateur de configurer des tâches, de contrôler des processus et de surveiller les résultats. Producteur SE est un outil idéal pour le traitement de films minces et a de nombreuses applications dans un large éventail d'industries. Les procédés avancés et la haute précision que le système offre en font un outil idéal pour les fabricants de puces, les fabricants d'écrans et d'autres industries nécessitant un traitement fiable des couches minces.
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