Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9017194 à vendre en France
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Vendu
ID: 9017194
Style Vintage: 2001
SACVD BPSG system, 8"
System overview:
Technology: DCVD
Wafer shape: SNNF
Position A: (XY) BPSG TWIN
Position B: (XY) BPSG TWIN
Position C: (XY) BPSG TWIN
System software: 3.4_8
NT version: P 133
Factory interface system 5.4 FI, options:
Number of load ports: 2
Metrology unit: Nanometrics
Light tower: 4-color configurable light tower
Remote options, system monitors:
First local monitor: standalone 15"
Second local monitor: TTW with keyboard, 15"
Remote options, heat exchanger:
System heat exchanger: Steelhead
AMAT HX hoses and manifolds: AMAT stainless hose upgrade: yes
Pumps:
Transfer chamber: BOC Edwards IPX-100L
Chamber A roughing pump: BOC Edwards iH-1000
Chamber B roughing pump: BOC Edwards iH-1000
Chamber C roughing pump: BOC Edwards iH-1000
System power mainframe: 208 V, 3 phase, 4 wire, 300 A
EMO interface: 24 VAC
Ch A-B-C, (XY) BPSG TWIN:
Robot blades: aluminum, (2) 0040-43516
Heater: HA-12 tight RF mesh with non RF cap, (2) 0190-03516
Foreline TV: 2.5" heated throttle valve, 0010-38429
Foreline ISO: valve, ISO 200 mm SACVD PROD-REP.16 holes, 0010-01653
RPS: Astron EX RPS, 0920-00057
Ch A, (XY) BPSG TWIN, gas box options:
Gas pallet type: BPSG only
Line 1: O3
Line 2: O2- 20SLM
Line 3: N2 Purge
Line 4: NF3- 3SLM
Line 5: Empty
Line 6: Ar- 5SLM
Line 7: He- 20SLM
Line 8: He- 20SLM
Line 9: He- 20SLM
Line 10: Liquid N2 purge
Line 11: Empty
Line 12: Empty
Line 13: Empty
Line 14: Liquid Pos 1, Teb- .5 g/min
Line 15: Liquid Pos 2, TEOS- 4.0 g/min
Line 16: Liquid Pos 3, Tepo- .25 g/min
Ch A-B-C, (XY) BPSG TWIN, process abatement: TCS
Ch A-B-C, (XY) BPSG TWIN, process kit:
Gas box: gas box - bypass, (2) 0040-53927
Blocker UHD: blocker, 200 mm producer, (2) 0021-09914
Faceplate BPSG: faceplate, 200 mm producer, (2) 0021-03568
Top pumping liner: pumping liner top producer, (2) 0020-00402
Liner, ceramic middle: liner, ceramic middle, producer, (2) 0020-00316
Liner, ceramic bottom: liner, ceramic bottom, producer, (2) 0020-00317
Liner, ring insert: liner, ring insert, producer, (2) 0021-06569
Lift pin-TC: lift pin 170 fixed floating 200 mm producer, (8) 0200-03314
Lift ring: lift ring 120 fixed floating 200 mm producer, (2) 0200-02576
Hoop: hoop 140 fixed floating 200 mm producer, (2) 0200-02577
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur SE est un réacteur hautement avancé qui a été conçu pour la production de matériaux avancés et de nouveaux dispositifs. Ce réacteur a été conçu pour répondre aux exigences les plus strictes, fournissant les rendements les plus élevés possibles pour la production de matériaux avancés et de nouveaux dispositifs. AMAT Producer SE réunit une combinaison unique de technologie de semi-conducteurs personnalisables, de science des matériaux et d'expertise de traitement pour fournir les meilleurs rendements pour les matériaux et les dispositifs avancés. Il est conçu pour le plus haut niveau d'automatisation et d'évolutivité afin d'assurer la fidélité des processus quel que soit le volume ou la complexité du client. L'architecture souple de ce réacteur permet un contrôle précis de l'écoulement des réactifs et est capable de traiter une grande variété de réactifs. Ce réacteur dispose également d'un système de contrôle sophistiqué, assurant des réactions et des résultats répétables et prévisibles. Le système de contrôle est capable d'ajuster les paramètres de réaction pour ajuster les processus et les résultats afin d'optimiser les rendements. La conception avancée du réacteur comprend une gamme complète de chambres de procédés, chacune équipée de systèmes de chauffage, de refroidissement et de contrôle de pression. Cela permet un contrôle précis des températures de réaction, des temps de réaction et des profils de pression. De plus, un débit de gaz à grande vitesse est possible. Le système de traitement des matériaux de ce réacteur comprend également un ensemble de systèmes d'analyse des matériaux tels que SEM/EDS, TEM, FTIR, GCMS et XRD. Ces systèmes permettent de caractériser rapidement les sections de matériaux avant et après traitement. Cela signifie que les matériaux peuvent être rapidement échantillonnés et analysés pour une optimisation précise des processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE a été conçu pour répondre aux besoins des fabricants de matériaux et d'appareils de pointe, permettant un volume élevé, une production à haut rendement et une productivité accrue. C'est la solution idéale pour traduire la technologie de laboratoire et les expériences en lignes de production.
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