Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9088227 à vendre en France
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Vendu
ID: 9088227
CVD System, 12"
(1) EFEM
(1) Main: Process chamber, transfer module
(1) AC rack: main power box
(1) O3 rack: O3 generator rack
UI panel: front UI monitor
(2) Chuck heaters: Harp USG vacuum heaters
2006 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE est un système de réacteur avancé à haut débit, conçu pour fournir une combinaison précise de haute uniformité et de très haut débit pour le dépôt de matériaux de procédé avancés. L'architecture intégrée à double chambre permet de faire fonctionner simultanément deux systèmes indépendants, offrant une solution d'ingénierie pour la flexibilité des processus et une productivité supérieure lorsque les utilisateurs veulent traiter le même type/tailles de plaquettes. AMAT Producer SE dispose d'une grande chambre uniforme équipée d'un système innovant d'injection de gaz, offrant des procédés plasmatiques très uniformes et reproductibles. La conception de la grande chambre permet une uniformité précise des dépôts de matériaux avec de nombreuses options de procédé, comme la phase vapeur, la phase liquide, le dépôt chimique en phase vapeur et le dépôt de couche atomique. Les modules de processus indépendants, l'outil de traitement de la lumière et HiCap, permettent d'optimiser les processus MPCVD et d'améliorer la qualité des films grâce à l'excitateur thermique Flash à faible courant (LFSE). Le Flash Flash Thermal Spark Exciter améliore encore le contrôle du processus et la précision en contrôlant la puissance radio-fréquence (RF) dans la chambre, en veillant à ce qu'elle soit maintenue au niveau souhaité avec une précision extrêmement serrée. Le LFSE fournit également un circuit de contrôle qui élimine l'arc causé par des arêtes vives sur la chambre de processus. D'autres caractéristiques comprennent un mandrin segmenté puissant, un manipulateur séparé et une chambre de séparation, permettant aux utilisateurs de réaliser des procédés multi-étapes sans mélange de gaz de chambre ou croisement de résidus d'un procédé à l'autre. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE est équipé d'une interface logicielle intuitive qui permet aux utilisateurs de personnaliser, contrôler et surveiller chaque processus. Les utilisateurs peuvent contrôler, surveiller et stocker les profils processus-paramètres, assurant ainsi des performances de processus cohérentes sur différents lots. Le logiciel comprend également un système de gestion de fichiers puissant, permettant aux utilisateurs de sauvegarder et de rappeler facilement les profils pour des résultats d'application reproductibles. Producteur SE dispose d'un excellent coût de propriété, avec un débit élevé, une meilleure compatibilité avec les substrats et une excellente uniformité sur l'ensemble de la zone de wafer. Le réacteur offre également une excellente reproductibilité, avec des résultats cohérents sur des parcours successifs. AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur SE offre aux utilisateurs une flexibilité ultime en matière de dépôt de matériaux, avec la flexibilité nécessaire pour réaliser une gamme de technologies de processus.
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