Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9120403 à vendre en France

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ID: 9120403
Taille de la plaquette: 12"
PECVD Silane system, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur SE est un réacteur conçu pour être utilisé dans divers procédés de fabrication. C'est une grande chambre à vide haute température qui peut accueillir une variété de matériaux. Le réacteur est capable de traiter un large éventail de matériaux dont le silicium, l'arséniure de gallium, le nitrure de gallium et le phosphure de gallium. Il est équipé de trois chambres à vide contrôlées indépendamment qui peuvent être utilisées pour le chargement d'échantillons, le transfert d'échantillons et le dépôt/gravure. L'équipement est également capable de réaliser une variété de couches de passivation et de diélectrique. Le réacteur utilise un suscepteur de graphite pour supporter les échantillons pendant le traitement. Il comporte également deux joints concentriques en quartz pour un meilleur joint sous vide. De plus, le système comprend une unité d'amenée de gaz qui est utilisée pour purger ou introduire des gaz dans le réacteur. AMAT Producer SE utilise une méthode de pulvérisation à haute fréquence à courant continu (DC) pour déposer sur la surface de l'échantillon. Ce procédé est très efficace pour produire des jonctions ultra-peu profondes (USJ) et d'autres caractéristiques fines. Le procédé de pulvérisation permet également à la machine de fournir un taux de dépôt élevé, une grande uniformité et une grande stabilité du procédé. L'outil est également conçu avec un moyen de régulation de la température pour s'assurer que la température de l'échantillon reste constante tout au long du processus. La plage de température du modèle est de 30 à 500 ° C L'équipement comprend également un système de contrôle de pression qui est utilisé pour maintenir une pression constante dans l'environnement du réacteur. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE soutient une variété de matériaux et de procédés de dépôt, y compris l'oxydation, la nitridation, la silicisation, la diffusion et la gravure. Le réacteur est également équipé de systèmes de surveillance et de contrôle des processus pour obtenir des résultats précis et cohérents. L'unité comprend une machine d'acquisition et de traitement de données en ligne. Cet outil permet de suivre les paramètres du processus et les conditions de l'échantillon tout au long du traitement. Dans l'ensemble, le producteur SE est un réacteur de dépôt/gravure très polyvalent et fiable qui convient bien à une variété de procédés de fabrication. Il a un taux de dépôt élevé, une grande uniformité, une grande stabilité du procédé et un excellent contrôle de la température. Il dispose également d'un actif de surveillance et de contrôle avancé pour garantir des résultats cohérents.
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