Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9153559 à vendre en France
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ID: 9153559
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
CVD System, 12"
(2) Chambers
Chamber A and B:
Chamber process: XJ (PE Si-lane twin)
APEX 3000 RF Generator
Gas delivery:
Gas pallet type: Surface mount vertical
No regulated gas panel
No regulated TMS
Top gas feed
Gas panel cabinet exhaust: Top
No facilities interlock indicator
SETRA Transducers
Nippon filter
Manual and pneumatic valves: Hamlet
No liquid source
Gases:
Chamber A:
Gas position / Gas / MFC Size
Gas 1 / C3H6 / 3000 SCCM
Gas 2 / H2 / 15000 SCCM
Gas 8 / O2 / 30000 SCCM
Gas 9 / AR / 15000 SCCM
Gas 10 / HE / 5000 SCCM
Gas 13 / N2 / 15000 SCCM
No regulator
No transducer
Chamber B:
Gas position / Gas / MFC Size
Gas 1 / C3H6 / 3000 SCCM
Gas 2 / H2 / 1000 SCCM
Gas 8 / O2 / 30000 SCCM
Gas 9 / AR / 15000 SCCM
Gas 10 / HE / 5000 SCCM
Gas 13 / N2 / 15000 SCCM
No regulator
No transducer
Mainframe:
No local center finder
No Cu wafer sensor
Third MF IO motion card
Robot blade: Standard VHP
Factory interface, 12":
Options: 5.3
WIP Delivery type: OHT
Wafer pass thru and storage: DSM Specific cooling tray
KAWASAKI Track robot with edge grip
No docked E99 reading capability
Load port types: Enhanced 25 wafer FOUP
Load port operator interface: Standard 9 light
No configurable color lights
No docking flange shield
Front facing intake plenum air system
E84 Pl/O Sensors and cables: Upper E84 sensors and cables
OHT Light curtain
Carrier ID host interface
(3) Colors configurable light towers
Heat exchanger:
No AMAT / APPLIED MATERIALS HX Hose and manifolds
Remote AC:
Facilities UPS interface
Chamber configuration:
Channel A / Channel B:
BFC
Foreline, 2"
T/V Type: 683B
0090-05813 RF Filter
RPS
FFU Controller
Power supply: 200-208 VAC, 60 Hz
2007 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE est un réacteur planétaire monobloc conçu et fabriqué par AMAT, premier fournisseur mondial d'équipements semi-conducteurs de pointe. Ce réacteur combine des fonctionnalités avancées avec des logiciels faciles à utiliser pour produire des résultats uniformes, précis et fiables dans la production de matériaux semi-conducteurs avancés pour des applications de haute performance, de faible puissance et de fiabilité. La monoplace Advanced Materials AMAT Producer SE est idéale pour les ingénieurs et les scientifiques, et est capable de fournir des résultats de haut rendement et de qualité pour un large éventail de procédés et de substrats en couches minces. Le réacteur fournit une production précise et répétable de plaquettes avec l'uniformité du processus, la fiabilité, et la cohérence de la forme des plaquettes. Le réacteur est équipé d'une chambre de procédé scellée pour les procédés à ultra-haut vide (UHV) et à quasi-vide (NV). L'équipement est conçu pour réaliser des processus sur des substrats monobloc et multi-wafer et pour traiter plusieurs gaz simultanément. Le réacteur est également équipé d'une fenêtre de déposition à faible émissivité qui donne aux utilisateurs une vue directe lors du dépôt des matériaux, ainsi que d'un système de réfrigération qui maintient les gaz de procédé frais à température constante. Pour le contrôle et le service, APPLIED MATERIALS Producer SE est soutenu par une suite de logiciels faciles à utiliser développés par APPLIED MATERIALS. Cette suite offre une interface intuitive pour la formation, la maintenance, la surveillance et le service. De plus, la plateforme logicielle du producteur permet une personnalisation pour répondre aux besoins individuels des unités et des dépôts. Producteur SE offre un certain nombre de caractéristiques conçues pour maximiser la production et augmenter les niveaux de productivité. Il est équipé de véhicules de centrage automatique de plaquettes et de systèmes robotiques qui maintiennent les substrats en place et minimisent les pertes de rendement. En outre, la machine de contrôle de traitement numérique de pointe maintient une vitesse de traitement optimale et une précision de positionnement, ainsi que fournit une rétroaction continue sur l'état de la plaquette. Les matériaux avancés AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE permettent une exécution et un contrôle rapides et faciles, et sont conçus pour garantir le rendement et la qualité les plus élevés possible. C'est un choix fiable et rentable pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à optimiser leur production et à obtenir les meilleurs résultats.
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