Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9198863 à vendre en France
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ID: 9198863
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
CVD System, 12"
Process: BPSG
2 Channels
2006 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE est un réacteur PECVD (dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma) de haute qualité conçu pour le dépôt en couches minces sur des substrats de grande surface. Ce réacteur fonctionne à des températures allant jusqu'à 200 ° C et dispose d'un support de puissance RF (radiofréquence) pour un taux de dépôt élevé. AMAT Producer SE est une plate-forme économique et fiable pour la production en grand volume de dispositifs semi-conducteurs complexes tels que circuits intégrés, opto-électronique et MEMS (systèmes microélectromécaniques). MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE a une conception de boîte à gaz propriétaire qui permet de multiples flux de gaz à l'entrée et à la sortie de la chambre de procédé. Cela garantit que la chimie du procédé est très précise, ce qui entraîne un dépôt uniforme de couches minces et des résultats à haut rendement. La chambre de traitement PECVD à double zone est conçue pour permettre une grande variété de configurations de traitement de substrat, telles que les capacités de dépôt haut/bas et simultané/séquentiel. Cette polyvalence permet le dépôt de différents matériaux en couches minces tels que les oxydes, les nitrures, les métaux et le silicium polycristallin. Producteur SE dispose d'un ensemble complet de diagnostics et de mesures de température sans contact qui fournissent des données précises de profil de température pour faciliter le contrôle précis du processus. Il utilise un système avancé de contrôle des processus qui intègre tous les paramètres du processus dans une suite d'outils faciles à utiliser. Cela permet d'ajuster les paramètres dynamiques et d'optimiser les conditions du processus sans avoir à modifier le programme. De plus, les diagnostics intégrés fournissent une rétroaction en temps réel sur les conditions de processus et l'efficacité du processus. AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur SE est conçu pour la fiabilité et la répétabilité à long terme. Sa conception modulaire permet une maintenance facile et des capacités de mise à niveau, permettant des mises à niveau pour améliorer la productivité et le contrôle des processus. Le système est également très économe en énergie, avec une conception de fonctionnement à basse pression pour réduire les émissions de CO2, ce qui en fait un choix plus durable pour la production de dispositifs semi-conducteurs. Dans l'ensemble, AMAT Producer SE est un outil fiable et polyvalent pour les dépôts de PECVD. Il dispose d'une conception à double chambre et de flux de gaz multiples pour un contrôle chimique précis, permettant le dépôt précis d'une variété de matériaux de couches minces. Il dispose également d'un ensemble complet de diagnostics et de systèmes de contrôle des processus pour un profil de température précis et un contrôle des processus. Il est conçu pour l'efficacité énergétique et la durabilité, ainsi que la fiabilité à long terme.
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